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龙图腾网恭喜颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司申请的专利晶圆盒与半导体生产设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114078732B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111552490.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆盒与半导体生产设备是由陈庆设计研发完成，并于2021-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆盒与半导体生产设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆盒与半导体生产设备，所述晶圆盒，包括底壁、顶壁、连接所述底壁与顶壁的支撑壁，所述晶圆盒形成有用以储放晶圆的储物腔，所述储物腔前侧设有供晶圆取放的开口；所述晶圆盒还包括枢转连接在所述支撑壁外侧的限位件、驱使所述限位件旋转的驱动杆及复位件；所述驱动杆用以在外力作用下驱使所述限位件沿背离所述开口的方向旋转，打开开口；所述复位件设置在所述限位件与支撑壁之间并用以驱使所述限位件朝向所述开口旋转，关闭开口。本申请晶圆盒及采用该晶圆盒的半导体生产设备能够有效避免晶圆掉落，减小物料损失，利于生产。

本发明授权晶圆盒与半导体生产设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒，包括底壁、顶壁、连接所述底壁与顶壁的支撑壁，所述晶圆盒形成有用以储放晶圆的储物腔，所述储物腔前侧设有供晶圆取放的开口，其特征在于：所述晶圆盒还包括枢转连接在所述支撑壁外侧的限位件、驱使所述限位件旋转的驱动杆及复位件；所述驱动杆用以在外力作用下驱使所述限位件沿背离所述开口的方向旋转，打开开口；所述复位件设置在所述限位件与支撑壁之间并用以驱使所述限位件朝向所述开口旋转，关闭开口；所述支撑壁的外侧设有支撑座，所述支撑座沿竖直方向开设有枢转孔；所述限位件包括插设在所述枢转孔内的枢转轴、位于所述枢转轴朝向开口一侧的限位板、位于所述枢转轴背离开口一侧并与所述驱动杆相配合的作动杆；所述支撑壁的外侧还设置有固定座，所述固定座设有上下贯穿并用以安装所述驱动杆的开孔，所述驱动杆可沿所述开孔上下移动；所述复位件设置为弹簧，所述弹簧的一端连接在所述限位板上，所述弹簧的另一端固定在所述支撑壁的外侧邻近该支撑壁前缘的位置；所述驱动杆的上端形成有第一斜面，所述驱动杆的下端设置超出所述底壁；所述作动杆包括连接至所述枢转轴的横杆、自所述横杆的末端向下延伸形成的纵杆，所述纵杆的下端形成与所述第一斜面相配合的第二斜面。

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