恭喜东京毅力科创株式会社佐野僚获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利控制方法和电感耦合等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114126177B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110967087.X，技术领域涉及：H05H1/00；该发明授权控制方法和电感耦合等离子体处理装置是由佐野僚;山科井作设计研发完成，并于2021-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本控制方法和电感耦合等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种控制方法和电感耦合等离子体处理装置，能够更高精度地控制等离子体密度。该控制方法是包括多个第一天线段和多个阻抗调整部的电感耦合等离子体处理装置中的控制方法，所述多个第一天线段构成电感耦合天线，所述多个阻抗调整部分别与多个第一天线段连接，所述控制方法包括以下工序：向多个第一天线段供给高频电力来生成等离子体；参照设定有多个第一区和多个第二区的存储部，通过多个阻抗调整部分别调整多个第一区的阻抗，多个第一区与所述多个第一天线段的各第一天线段对应，所述多个第二区与所述多个第一区中的特定的第一区所对应的特定的第一天线段对应；以及通过与特定的第一天线段连接的阻抗调整部来分别调整多个第二区的阻抗。
本发明授权控制方法和电感耦合等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种控制方法，是包括多个第一天线段和多个阻抗调整部的电感耦合等离子体处理装置中的控制方法，所述多个第一天线段构成电感耦合天线，所述多个阻抗调整部分别与所述多个第一天线段连接，所述控制方法包括以下工序：向所述多个第一天线段供给高频电力来生成等离子体；参照预先设定有多个第一区和多个第二区的存储部，通过所述多个阻抗调整部来调整所述多个第一区各自的阻抗，所述多个第一天线段的各第一天线段与所述多个第一区中的某一个第一区对应，所述多个第二区与所述多个第一区中的特定的第一区所对应的特定的第一天线段分别对应；以及参照所述存储部，通过所述多个阻抗调整部中的与所述特定的第一天线段连接的阻抗调整部来调整所述多个第二区各自的阻抗。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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