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龙图腾网恭喜株式会社V技术申请的专利聚焦能量束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115461833B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180029913.4，技术领域涉及：H01J37/18；该发明授权聚焦能量束装置是由水村通伸;新井敏成;松本隆德;竹下琢郎设计研发完成，并于2021-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本聚焦能量束装置在说明书摘要公布了：差动排气装置将处理用空间设为高真空度，其中，所述差动排气装置具备：位移驱动部，其能够使头部或被处理基板进行位移来调整被处理面与所述头部的对置面的平行度及距离；间隙测定部，其沿着所述头部的所述对置面的周缘分别配置在至少三个部位以上，能够检测所述对置面与所述被处理面之间的距离；以及间隙控制部，其基于所述间隙测定部检测出的所述对置面与所述被处理面之间的距离信息来控制所述位移驱动部，以使得所述对置面与所述被处理面隔开规定的距离而成为平行。

本发明授权聚焦能量束装置在权利要求书中公布了：1.一种聚焦能量束装置，其中，所述聚焦能量束装置具备：差动排气装置，其具备头部，该头部能够相对于被处理基板的被处理面以与该被处理面的任意区域对置的方式进行相对移动，在所述头部中的与所述被处理面对置的对置面形成有多个环状槽，该多个环状槽围绕所述头部的中心，在所述头部的所述多个环状槽中的最内侧的所述环状槽的内侧区域设置有开口部，该开口部形成能够对所述被处理面进行处理的处理用空间，在所述多个环状槽中的至少一个以上的所述环状槽连结真空泵，在使所述对置面与所述被处理面对置的状态下，通过来自所述环状槽的吸气作用来将所述处理用空间设为高真空度；聚焦能量束柱状体，其配置在所述头部中的与所述对置面相反的一侧，具备与所述开口部连结而能够与所述处理用空间连通的镜筒，在所述镜筒内内置有聚焦能量束系统而使聚焦能量束穿过所述开口部内来射出；位移驱动部，其能够使所述头部或所述被处理基板进行位移来调整所述被处理面与所述对置面的平行度及距离；间隙测定部，其沿着所述头部的所述对置面的周缘分别配置在至少三个部位以上，能够检测所述对置面与所述被处理面之间的距离；以及间隙控制部，其基于所述间隙测定部检测出的、所述对置面与所述被处理面之间的距离信息来控制所述位移驱动部，以使得所述对置面与所述被处理面隔开规定的距离而成为平行，所述聚焦能量束装置在所述头部的侧方附近隔开偏置距离而配置有观察用显微镜，所述观察用显微镜以对所述被处理基板的被处理区域能够进行高分辨率的信息获取的状态，进行由所述聚焦能量束进行处理的区域的观察，所述聚焦能量束装置设定为所述头部移动所述偏置距离，以使得所述聚焦能量束柱状体的所述聚焦能量束的照射位置与通过所述观察用显微镜进行了信息获取的所述被处理区域重叠。

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