恭喜东京毅力科创株式会社丰卷俊明获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利定位装置、处理系统和定位方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113310402B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110187417.3，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权定位装置、处理系统和定位方法是由丰卷俊明设计研发完成，并于2021-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本定位装置、处理系统和定位方法在说明书摘要公布了：本发明提供能够将基片和边缘环定位的定位装置、处理系统和定位方法。本发明的一个方式的定位装置包括：保持基片的基片保持台；保持边缘环的第一保持销；在上述第一保持销以外另设的、保持上述边缘环的第二保持销；使上述基片保持台和上述第一保持销旋转的旋转机构；使上述第一保持销和上述第二保持销的至少一者升降的升降机构；以及检测机构，其检测保持在上述基片保持台的上述基片的外周的位置和保持在上述第一保持销的上述边缘环的内周的位置。
本发明授权定位装置、处理系统和定位方法在权利要求书中公布了：1.一种定位装置，其特征在于，包括：保持基片的基片保持台；保持边缘环的第一保持销；在所述第一保持销以外另设的、保持所述边缘环的第二保持销；使所述基片保持台和所述第一保持销旋转的旋转机构；使所述第一保持销和所述第二保持销的至少一者升降的升降机构；以及检测机构，其检测保持在所述基片保持台的所述基片的外周的位置和保持在所述第一保持销的所述边缘环的内周的位置，所述第一保持销能够以其上端位于比所述基片保持台的上表面靠下方处的方式升降，所述第二保持销能够以其上端位于比所述基片保持台的上表面靠下方处的方式升降。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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