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龙图腾网恭喜浙江大学申请的专利一种MEMS应力隔离机构及其设计方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112897453B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110097880.9，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权一种MEMS应力隔离机构及其设计方法是由马志鹏;金一鸣;金仲和;郑旭东设计研发完成，并于2021-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS应力隔离机构及其设计方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS应力隔离机构及其设计方法，属于MEMS机械设计领域，主要由环形或正多边形结构以及分布在波腹点和波节点的锚点构成。在MEMS器件加工或工作过程，由于多种材料膨胀系数失配和温度效应，MEMS器件会受到残余应力和热应力影响。基于环形或正多边形结构的驻波特性，将波腹点与基板锚点相连，将波节点与被保护MEMS器件的锚点相连，可以实现MEMS器件基板与内部被保护MEMS器件间的应力隔离。本发明结构简单，应力隔离效果好，可应用于各类MEMS器件的机械设计中。

本发明授权一种MEMS应力隔离机构及其设计方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS应力隔离机构的设计方法，所述的MEMS包括基板和内部被保护的MEMS器件，其特征在于，所述应力隔离机构由配置有锚点的环形结构或正多边形结构构成，所述的锚点分布在波腹点和波节点，且分布在波腹点位置的锚点与基板锚点相连，分布在波节点位置的锚点与内部被保护的MEMS器件锚点相连；所述环形结构或正多边形结构的自由振动模态包含Nθ驻波振型，N1；在每个驻波振型下都存在呈中心对称分布的波腹点和波节点；所述基板锚点对称分布在所述的波腹点上，所述被保护的MEMS器件锚点对称或非对称的分布在所有或部分所述的波节点上；所述的设计方法包括以下步骤：1根据目标基板及内部被保护的MEMS器件的结构和形状，选择应力隔离机构为环形结构或正多边形结构；2根据目标基板上需要固定的锚点数量m，确定Nθ驻波振型的阶数，即确定N的取值，使得N＝m；3根据确定好的驻波振型设计环形结构或正多边形结构上的锚点位置，所述锚点分布在波腹点和波节点，所述的波腹点和波节点间隔分布在环形结构或正多边形结构上；对于Nθ驻波振型，两个相邻的波腹点和波节点间隔90°N；4将基板锚点与环形结构或正多边形结构上的一组波腹点相连，使得基板锚点对称分布在波腹点上；将内部被保护的MEMS器件锚点与环形结构或正多边形结构上的波节点相连，使得被保护的MEMS器件锚点对称或非对称的分布在所有或部分波节点上。

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