恭喜格芯美国公司J·弗鲁吉尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜格芯美国公司申请的专利空气间隔物结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112582462B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010877419.0,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权空气间隔物结构是由J·弗鲁吉尔;A·拉扎维;王海艇设计研发完成,并于2020-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本空气间隔物结构在说明书摘要公布了:本公开一般地涉及半导体结构,更具体地涉及空气间隔物结构及制造方法。该结构包括:多个栅极结构,其包括有源区;接触,其延伸到有源区;多个锚固结构,其位于有源区之间;以及空气间隔物结构,其与接触相邻。
本发明授权空气间隔物结构在权利要求书中公布了:1.一种半导体结构,包括:多个栅极结构,位于有源区之上;接触,其延伸到所述有源区;多个锚固结构,其用于锚定所述接触且仅仅在所述栅极结构的延伸方向上位于所述有源区之间,其中,所述锚固结构的上表面低于所述接触和所述栅极结构的上表面;以及空气间隔物结构,其与所述接触相邻,其中,所述空气间隔物结构包括气隙和在所述气隙的侧壁上的用于密封所述气隙的衬里,其中,所述气隙在所述栅极结构的所述延伸方向上部分地位于所述锚固结构和所述有源区之间。
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