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龙图腾网恭喜因特瓦克公司申请的专利用于薄膜沉积的混合系统架构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113811427B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980084403.X，技术领域涉及：B25J9/12；该发明授权用于薄膜沉积的混合系统架构是由T·布卢克设计研发完成，并于2019-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于薄膜沉积的混合系统架构在说明书摘要公布了：提供了一种处理系统，其包括：真空外壳，其具有多个处理窗口和位于其中的连续轨道；多个处理腔室，其被附接于真空外壳的侧壁，每个处理腔室围绕处理窗口中的一个；加载锁，其被附接于真空外壳的一端并在其中定位有加载轨道；至少一个闸阀，其将加载锁与真空外壳间隔开；多个基片承载件，其被配置成在连续轨道和加载轨道上行进；至少一个轨道交换器，其被定位在真空外壳内，轨道交换器可在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置中，基片承载件被制成为在连续轨道上连续地移动，在第二位置中，基片承载件被制成为在连续轨道和加载轨道之间输送。

本发明授权用于薄膜沉积的混合系统架构在权利要求书中公布了：1.一种基片处理系统，包括：真空外壳；多个处理腔室，所述多个处理腔室被附接于所述真空外壳的侧壁；第一输送腔室，所述第一输送腔室被经由第一闸阀联接到所述真空外壳的加载端，所述第一输送腔室中具有输送轨道；第一加载锁，所述第一加载锁被经由第二闸阀联接到所述第一输送腔室，并且在其入口侧具有第三闸阀，所述第一加载锁中具有输送轨道；晶圆保持模块，所述晶圆保持模块被附接于所述第一加载锁的侧壁并且具有晶圆保持器，所述晶圆保持器将所述基片保持在所述第一加载锁的内部处于竖直或近乎竖直的取向；铰接机械臂，所述铰接机械臂具有末端执行器，所述末端执行器被经由可旋转腕附接于所述铰接机械臂的端部，所述铰接机械臂被定位在所述第一加载锁的外部并且能够触及以从FOUP移除处于水平取向的基片，将所述基片朝向竖直或近乎竖直的取向旋转，以及将所述基片放置在所述晶圆保持器上；多个基片承载件，所述多个基片承载件在所述输送轨道上行进并与所述晶圆保持模块交换基片；转盘，所述转盘被定位于所述真空外壳的末端，所述末端与所述加载端相反；跑道单轨，所述跑道单轨被定位于所述真空外壳内；环形带，所述环形带被定位于所述真空外壳内并接合自由跨骑在所述跑道单轨上的基片承载件，并且所述环形带包括多个驱动叉；轨道交换器，所述轨道交换器被定位于所述跑道单轨的一端并在所述跑道单轨和所述转盘之间输送基片承载件；以及至少一个第二处理系统，所述至少一个第二处理系统被附接于所述真空外壳的所述末端，其中，所述基片承载件中的每一个包括多个自由旋转轮和驱动销，所述自由旋转轮被配置为接合所述跑道单轨，所述驱动销被配置为接合所述驱动叉。

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