恭喜恩特格里斯公司M·V·史密斯获国家专利权
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龙图腾网恭喜恩特格里斯公司申请的专利衬底容器的膜扩散器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112640079B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980055888.X，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权衬底容器的膜扩散器是由M·V·史密斯;N·西伦;M·A·富勒;M·C·扎布卡;文圣仁;J·P·普利亚设计研发完成，并于2019-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底容器的膜扩散器在说明书摘要公布了：本发明涉及用于运输衬底的系统中的净化扩散器，其包含：i净化扩散器核心，其具有内部净化气体通道、一或多个扩散器端口及外表面；ii过滤介质，其固定到所述净化扩散器核心的所述外表面；iii净化端口连接器，其用于将所述净化扩散器安装到用于运输衬底的衬底容器的净化端口。所述净化扩散器核心可为单体物件，可通过注射模制来形成，且可包含所述内部净化气体通道内的转向器。
本发明授权衬底容器的膜扩散器在权利要求书中公布了：1.一种用于运输衬底的系统中的净化扩散器，其包括：i净化扩散器核心，其具有内部净化气体通道、一或多个扩散器端口及外表面，其中所述扩散器端口沿着所述净化扩散器核心的纵向被布置成多个行；ii过滤介质，其固定到所述净化扩散器核心的所述外表面；及iii净化端口连接器，其用于将所述净化扩散器安装到用于运输衬底的衬底容器的净化端口；所述净化扩散器经布置使得存在连续路径来使通过所述净化端口连接器进入的净化气体进入所述内部净化气体通道，通过所述扩散器端口离开所述内部净化气体通道，且通过所述过滤介质。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人恩特格里斯公司，其通讯地址为：美国马萨诸塞州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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