买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112740369B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980061111.4，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权基板处理装置是由西出基;姜贵畅;松本隆雄设计研发完成，并于2019-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置在说明书摘要公布了：在基板处理装置1中，与沿上下方向排列的多个处理部31相比在上方配置有多个集合管61a～61c。多个集合管61a～61c与多个流体类别分别对应。另外，设有从多个处理部31趋向上方、并且供来自多个处理部31的排气分别流入的多个排气管4。在各排气管4的上端部设有流路切换部5，该流路切换部5将该上端部连接于多个集合管61a～61c，并且使在该排气管4内流动的排气的流路在多个集合管61a～61c之间进行切换。在基板处理装置1中，能够降低排气管4中的压力损耗并且减小占用面积。

本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：在上下方向上排列的多个处理部，该多个处理部能够分别将多种处理流体供给至基板；多个排气管，其从所述多个处理部趋向上方，并且供来自所述多个处理部的排气分别流入；两个以上的集合管，其与所述多个处理部相比配置在上方，分别与将所述多种处理流体分类而得到的两个以上的流体类别对应；多个流路切换部，该多个流路切换部分别设于一个排气管的上端部，并且将所述上端部连接于所述两个以上的集合管，使在所述排气管流动的排气的流路在所述两个以上的集合管之间切换；以及控制部，其根据在所述多个处理部中使用的处理流体，控制所述多个流路切换部，各排气管具备：从处理部朝向上方延伸的第1排气路径；以及具有从所述第1排气路径的上端朝向与所述上下方向大致垂直的方向延伸的部位且与流路切换部连接的第2排气路径，所述多个排气管中的多个第1排气路径的上端彼此靠近配置，所述多个第1排气路径的长度彼此不同，所述多个排气管中的多个第2排气路径的长度彼此不同，在所述多个排气管所包含的两个排气管的各组合中，一个排气管中的所述第1排气路径的长度比另一个排气管中的所述第1排气路径长，所述一个排气管中的所述第2排气路径的长度比所述另一个排气管中的所述第2排气路径短。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。