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龙图腾网恭喜深圳市中科光芯半导体科技有限公司申请的专利一种光电芯片表面高精度刻蚀方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119566554B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510134326.1，技术领域涉及：B23K26/362；该发明授权一种光电芯片表面高精度刻蚀方法及装置是由郑君雄设计研发完成，并于2025-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光电芯片表面高精度刻蚀方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及芯片刻蚀技术领域，具体涉及一种光电芯片表面高精度刻蚀方法及装置。该方法根据光电芯片表面刻蚀过程中激光光束的刻蚀路径中角点对应的刻蚀轮廓的线条特征、不同角点之间的角度变化和能量散射率之间的响应关系，确定激光响应关系值；根据激光光束的刻蚀扫描速度的衰减情况，确定角点位置处的扫描震荡风险值；基于扫描震荡风险值引入动态误差，确定激光光束特性的热损失概率；结合激光响应关系值和热损失概率，确定刻蚀至不同角点的调整系数；通过调整系数，对激光设备的刻蚀扫描速度进行实时调整。本发明通过动态调整激光光束的刻蚀扫描速度，精准控制热效应与加工质量之间的平衡，兼顾加工效率与路径形状一致性。

本发明授权一种光电芯片表面高精度刻蚀方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种光电芯片表面高精度刻蚀方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：获取光电芯片表面刻蚀过程中激光光束的刻蚀路径和能量散射率；根据刻蚀路径中角点对应的刻蚀轮廓的线条特征，确定对应角点的局部积热风险值；分析不同角点之间的角度变化、能量散射率和局部积热风险值之间的响应关系，确定激光响应关系值；根据激光光束的刻蚀扫描速度的衰减情况，确定角点位置处产生震荡的扫描震荡风险值；基于所述扫描震荡风险值引入动态误差，确定激光光束特性的热损失概率；结合所述激光响应关系值和所述热损失概率，确定刻蚀至不同角点时对激光光束特性的调整系数；通过所述调整系数，对激光设备的刻蚀扫描速度进行实时调整；其中，确定激光响应关系值的方法为：按照角点所对应的角度从大到小的顺序，对不同角点的能量散射率进行拟合得到能量散射率曲线，对不同角点的角度值进行拟合得到第一角度曲线；按照角点在进行刻蚀时的位置顺序，对不同角点的角度值进行拟合得到第二角度曲线；对不同角点的局部积热风险值进行拟合得到局部积热风险曲线；根据所述能量散射率曲线和所述第一角度曲线之间的变化关系，得到第一响应关系值；根据所述第二角度曲线和所述局部积热风险曲线之间的响应关系，得到第二响应关系值；结合所述第一响应关系值和所述第二响应关系值，得到激光响应关系值；其中，所述第一响应关系值与所述激光响应关系值呈正相关关系，所述第二响应关系值与所述激光响应关系值呈负相关关系。

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