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龙图腾网恭喜深圳市新晶路电子科技有限公司申请的专利一种晶圆盘互换平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119495617B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510085577.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆盘互换平台是由谢亮春;张小波;郭康俊设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆盘互换平台在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆盘互换平台，涉及半导体生产设备技术领域，包括平台支架以及设置于平台支架内腔的光刻构件和顶板，平台支架的顶部开设有通孔，卡接组件置于光刻构件的底部，卡接组件包括安装在顶板底部的安装座，安装座的底部固定连接有托板，托板的一端设置有封板，安装座的顶部固定连接有支撑柱，支撑柱靠近安装座一端的外表面套设有滑动块，支撑柱远离安装座一端的外表面固定连接有固定块，通过设置光刻构件，从而能够对放置好的晶圆盘进行光刻加工，顶板的顶部设置有推杆，触碰块的底部设置有一定坡度，在使用时，通过人工与机械配合，首先将晶圆盘放置在放置环的内腔，然后将放置环放置于凹槽的内腔。

本发明授权一种晶圆盘互换平台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盘互换平台，其特征在于，包括：平台支架（1）以及设置于平台支架（1）内腔的光刻构件（11）和顶板（12），平台支架（1）的顶部开设有通孔（13）；卡接组件（2），卡接组件（2）置于光刻构件（11）的底部，卡接组件（2）包括安装在顶板（12）底部的安装座（21），所述安装座（21）的底部固定连接有托板（214），所述托板（214）的一端设置有封板（218），所述安装座（21）的顶部固定连接有支撑柱（23），所述支撑柱（23）靠近安装座（21）一端的外表面套设有滑动块（22），所述支撑柱（23）远离安装座（21）一端的外表面固定连接有固定块（24），所述固定块（24）的顶部设置有托盘（215），所述托盘（215）的底部固定连接有固定座（26），所述固定座（26）的内腔设置有滑动柱（28），所述滑动柱（28）的一端固定连接有触碰块（211），所述托盘（215）的顶部开设有凹槽（217），所述凹槽（217）的内腔设置有放置环（216）；定位组件（3），定位组件（3）置于安装座（21）的侧面，定位组件（3）包括安装在托板（214）内腔的防护壳（31），所述防护壳（31）内壁的侧面固定连接有支撑板（310），所述支撑板（310）的底部设置有固定板（32），所述固定板（32）的两端均固定连接有支撑件（34）；连接组件（4），连接组件（4）置于托板（214）内壁的一侧，连接组件（4）包括安装在封板（218）靠近凹槽（217）一端的固定套筒（41），所述固定套筒（41）的侧面滑动连接有滑动套筒（43），所述滑动套筒（43）靠近固定套筒（41）的一端固定连接有第四弹片（42），所述第四弹片（42）远离滑动套筒（43）的一端与固定套筒（41）的一端；所述固定块（24）的底部固定连接有第一弹片（25），所述第一弹片（25）远离固定块（24）的一端与滑动块（22）的顶部固定连接，所述固定座（26）的内腔开设有放置槽（27），所述滑动柱（28）的一端延伸至放置槽（27）的内腔，所述滑动柱（28）的一端与放置槽（27）的内腔滑动连接；所述固定座（26）的顶部开设有滑动槽（210），所述托板（214）的侧面固定连接有安装板（212），所述安装板（212）的顶部固定连接有缓冲件（213），所述滑动柱（28）的侧面固定连接有第二弹片（29）。

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