恭喜上海集迦电子科技有限公司吴志伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海集迦电子科技有限公司申请的专利连接结构及TC wafer测温系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119465105B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510051934.6,技术领域涉及:C23C16/52;该发明授权连接结构及TC wafer测温系统是由吴志伟;童佳云设计研发完成,并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本连接结构及TC wafer测温系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种连接结构及TCwafer测温系统,属于半导体设备技术领域,连接结构包括绝缘层、贯通带和多条引线,引线包括第一部分引线和第二部分引线,第一部分引线包裹于绝缘管内部,第二部分引线设置于贯通带上,绝缘管靠近贯通带的一侧固定在绝缘层上,绝缘层与贯通带对接,贯通带与绝缘层不重叠,绝缘管和贯通带不重叠。该连接结构应用于TCwafer测温系统对CVD机台腔体温度测试时,由于连接结构中贯通带与绝缘层不重叠,绝缘管和贯通带不重叠,绝缘层及绝缘管全部置于CVD腔体内部,贯通带位于CVD腔体外部,不会影响CVD腔体的密封效果,而且减少或者避免了TCwafer测温系统功能异常问题,降低了成本。
本发明授权连接结构及TC wafer测温系统在权利要求书中公布了:1.一种连接结构,应用于TCwafer测温系统,其特征在于:包括绝缘层、贯通带和多条引线;每条所述引线均包括第一部分引线和第二部分引线,所述第一部分引线包裹于绝缘管内部,所述第二部分引线设置于所述贯通带上;所述绝缘管靠近所述贯通带的一侧固定在所述绝缘层上,所述绝缘层与所述贯通带对接,所述贯通带与所述绝缘层不重叠,所述绝缘管和所述贯通带不重叠。
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