恭喜晶芯成(北京)科技有限公司;合肥晶合集成电路股份有限公司吝辉辉获国家专利权
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龙图腾网恭喜晶芯成(北京)科技有限公司;合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利离子注入机稳定性的监控方法以及故障检测与分类系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119397177B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510000247.1，技术领域涉及：G06F18/15；该发明授权离子注入机稳定性的监控方法以及故障检测与分类系统是由吝辉辉;王曼真;方驰宇设计研发完成，并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入机稳定性的监控方法以及故障检测与分类系统在说明书摘要公布了：本申请公开了离子注入机稳定性的监控方法以及故障检测与分类系统，该监控方法包括：在离子注入过程中获取离子注入机的关键参数在不同时刻的多个取值，所述关键参数为使离子注入机的引出电流稳定不变而动态调整的参数；利用与采用所述离子注入机进行离子注入的产品良率具有相关性的目标统计算法对所述多个取值进行统计，得到统计结果；根据所述统计结果确定所述离子注入机在所述离子注入过程中的稳定性。本申请实现了对离子注入机稳定性的实时且准确的监控。
本发明授权离子注入机稳定性的监控方法以及故障检测与分类系统在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机稳定性的监控方法，包括：在离子注入过程中获取离子注入机的关键参数在不同时刻的多个取值，所述关键参数为使离子注入机的引出电流稳定不变而动态调整的参数，所述离子注入机的引出电流为所述离子注入机在单位时间内引出离子的数量；通过与采用所述离子注入机进行离子注入的产品良率具有相关性的目标统计算法对所述多个取值进行统计，得到统计结果；根据所述统计结果确定所述离子注入机在所述离子注入过程中引出电流的稳定性。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人晶芯成(北京)科技有限公司;合肥晶合集成电路股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十三街29号院一区2号楼13层1302-C54；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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