恭喜深圳众诚达应用材料股份有限公司周贤界获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳众诚达应用材料股份有限公司申请的专利一种掺杂磷的硅靶材及其制备方法和光伏电池获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119332195B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411876593.8,技术领域涉及:C23C4/04;该发明授权一种掺杂磷的硅靶材及其制备方法和光伏电池是由周贤界;黄小玲;黄勇彪设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掺杂磷的硅靶材及其制备方法和光伏电池在说明书摘要公布了:本申请涉及靶材制备技术领域,提供了一种掺杂磷的硅靶材及其制备方法和光伏电池,包括:将二氧化硅块体与含磷的化合物进行熔炼处理,然后冷却、破碎得到硅磷氧化物粉;将硅磷氧化物粉进行还原处理,得到硅磷合金粉;利用硅粉对硅磷合金粉进行包覆处理,得到复合粉;将复合粉热喷涂到背管上,然后机加工得到掺杂磷的硅靶材。本申请通过将二氧化硅和含磷的化合物进行熔炼,使二者充分反应,从而冷却固化后形成均匀、化学性质稳定的硅磷氧化物粉,使其在还原后形成更加均匀稳定的硅磷合金粉,因此制得的硅靶材的组织均匀性更好,并利于控制硅靶材的磷含量。利用硅粉对硅磷合金粉进行包覆,降低喷涂过程中磷的挥发,因此能更好的控制硅靶材的磷含量。
本发明授权一种掺杂磷的硅靶材及其制备方法和光伏电池在权利要求书中公布了:1.一种掺杂磷的硅靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:将二氧化硅块体与含磷的化合物粉进行熔炼处理,然后冷却、破碎得到硅磷氧化物粉;所述含磷的化合物粉为磷酸盐或五氧化二磷粉;将所述硅磷氧化物粉、金属镁粉和氯化钠粉混合得到混合粉;将所述混合粉在情性气氛下进行热还原反应处理,然后冷却得到固体产物;将所述固体产物进行纯化处理,得到硅磷合金粉;将所述硅磷合金粉置于三维混合造粒装置中,向所述硅磷合金粉喷洒粘结剂溶液,同时进行混合造粒,得到硅磷合金核体;将硅粉加入所述硅磷合金核体中,然后喷洒所述粘结剂溶液,同时进行混合造粒,待所述粘结剂溶液喷洒完后继续混合造粒1~4h,得到复合粉;所述硅粉和所述硅磷合金粉的质量比为(1~2)1;将所述复合粉热喷涂到背管上,然后机加工得到掺杂磷的硅靶材;其中,所述硅磷氧化物粉、金属镁粉和氯化钠粉的质量比为1(0.8~2)(2~20);将所述混合粉在情性气氛下进行热还原反应处理的步骤包括:将所述混合粉置于气氛炉中,抽真空至10-2Pa以下后通入惰性气体,然后升温至650~950℃进行保温2~10h,冷却后得到固体产物。
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