恭喜深圳市德沃先进自动化有限公司程炜获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市德沃先进自动化有限公司申请的专利多轴运动解耦结构、引线键合装置和设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119253968B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411777582.4,技术领域涉及:H02K41/035;该发明授权多轴运动解耦结构、引线键合装置和设备是由程炜;刘鑫设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本多轴运动解耦结构、引线键合装置和设备在说明书摘要公布了:本申请实施例涉及半导体芯片加工设备,尤其是一种多轴运动解耦结构、引线键合装置和设备。该装置和设备包括安装座,安装于键合设备的XY平台上;U轴驱动组件,包括U轴音圈电机和U轴主体,U轴音圈电机包括U轴定子和U轴动子;V轴驱动组件,包括V轴音圈电机和V轴主体,V轴音圈电机包括V轴定子和V轴动子;Z轴驱动组件,包括Z轴音圈电机和Z轴主体,Z轴音圈电机包括Z轴定子和Z轴动子;键合机构,设于所述Z轴主体上。本申请实施例解决了偏心扰动的问题,并且大幅提升整个键合设备在X轴和Y轴方向的运动加速度,同时XY行程的扩大不会影响到UVZ键合机构的键合精度,从而实现更大区域的键合,键合区域的范围可实现进一步的拓展。
本发明授权多轴运动解耦结构、引线键合装置和设备在权利要求书中公布了:1.引线键合装置,其特征在于,包括:安装座,安装于键合设备的XY平台上;UVZ三轴运动单元,设于所述安装座上,包括进行直线运动的U轴驱动组件、V轴驱动组件和Z轴驱动组件;键合机构,设于所述Z轴驱动组件上,在UVZ三轴运动单元的驱动下移动并进行芯片键合加工;所述U轴驱动组件包括U轴音圈电机和U轴主体,所述U轴音圈电机包括U轴定子和U轴动子,所述U轴主体设于U轴动子上,所述U轴定子包括U轴定子磁铁,所述U轴动子包括U轴动子线圈,所述U轴动子线圈包括第一长度段,所述第一长度段的长度大于所述U轴定子磁铁的覆盖长度;所述Z轴驱动组件包括Z轴音圈电机和Z轴主体,所述Z轴音圈电机包括Z轴定子和相对于所述Z轴定子作直线运动的Z轴动子,所述Z轴主体设于所述Z轴动子上,所述Z轴定子上设有Z轴定子磁铁,所述Z轴动子上设有Z轴动子线圈,所述Z轴动子线圈包括第二长度段,所述第二长度段的长度大于所述Z轴定子磁铁的覆盖长度;所述V轴驱动组件包括V轴音圈电机和V轴主体,所述V轴音圈电机包括V轴定子和相对于所述V轴定子作直线运动的V轴动子,所述V轴主体设于所述V轴动子上,所述V轴定子上设有V轴定子磁铁,所述V轴动子上设有V轴动子线圈;所述Z轴主体上设有沿U轴方向延伸的第一导轨,所述Z轴音圈电机的Z轴动子上设有沿U轴方向延伸的第一导轨槽,所述第一导轨和第一导轨槽可滑动地连接为一体。
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