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恭喜爱利彼半导体设备(上海)有限公司方明喜获国家专利权

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龙图腾网恭喜爱利彼半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种加热盘结构、基于该结构的半导体加热设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119108316B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411577898.9,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种加热盘结构、基于该结构的半导体加热设备及方法是由方明喜;黎博林设计研发完成,并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

一种加热盘结构、基于该结构的半导体加热设备及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,具体是一种加热盘结构、基于该结构的半导体加热设备及方法,所述的一种半导体加热设备,包括:机壳,所述机壳内设置有往复组件,所述往复组件包括滑动设置在所述机壳内的承接板,所述承接板上设置有一种半导体加热结构,所述往复组件能够驱使所述承接板相对所述机壳滑动,从而迫使所述承接板突出或者没入所述机壳内;所述机壳上还滑动设置有开关门,所述开关门与设置在所述机壳内的升降组件连接,所述升降组件能够驱使所述开关门沿所述机壳的竖直方向进行滑动,从而对所述机壳进行开关;驱动组件,设置在所述机壳内,连接所述升降组件以及往复组件,能够驱使所述往复组件以及升降组件进行交替动作。

本发明授权一种加热盘结构、基于该结构的半导体加热设备及方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体加热设备,其特征在于,包括:机壳(1),所述机壳(1)内设置有往复组件,所述往复组件包括滑动设置在所述机壳(1)内的承接板(2);机壳(1)内固定设置有承托板(101),所述承托板(101)沿机壳(1)的长度方向对称设置有两组,两组所述承托板(101)上均固定设置有T型块(102),所述T型块(102)滑动设置在承接板(2)背面开设的卡接槽内,在所述T型块(102)以及卡接槽之间的配合下,使得承接板(2)仅能沿机壳(1)的长度方向进行滑动;承接板(2)的背面固定设置两组伸缩杆(4),所述伸缩杆(4)与设置在机壳(1)内的固定套筒(6)滑动连接,当承接板(2)受往复组件驱使,延伸至机壳(1)的外部时,所述伸缩杆(4)能够对伸出的承接板(2)进行支撑;所述承接板(2)上设置有半导体加热结构,所述往复组件能够驱使所述承接板(2)相对所述机壳(1)滑动,从而迫使所述承接板(2)突出或者没入所述机壳(1)内;所述机壳(1)上还滑动设置有开关门(3),所述开关门(3)与设置在所述机壳(1)内的升降组件连接,所述升降组件能够驱使所述开关门(3)沿所述机壳(1)的竖直方向进行滑动,从而对所述机壳(1)进行开关;驱动组件,设置在所述机壳(1)内,连接所述升降组件以及往复组件,能够驱使所述往复组件以及升降组件进行交替动作;所述往复组件沿所述机壳(1)的宽度方向对称设置有两组,每组所述往复组件均包括转动安装在所述机壳(1)内的带轮(11),所述带轮(11)沿所述机壳(1)的长度方向设置有两组,两组所述带轮(11)之间设置有皮带(10),所述皮带(10)上固定设置有突柱(1001),所述突柱(1001)通过移动件与所述承接板(2)连接;所述往复组件包括与所述承接板(2)固定连接的往复板(12),所述往复板(12)朝向所述皮带(10)的一侧开设有移动槽(1201),所述突柱(1001)滑动设置在所述移动槽(1201)内;所述半导体加热结构包括加热盘本体(5),所述加热盘本体(5)可拆卸安装在所述承接板(2)上,用于对物体进行加热;所述承接板(2)上还滑动设置有升降件,所述升降件包括滑动设置在所述承接板(2)上的升降环(22),所述升降环(22)朝向地面的一侧设置有纵向件(21),所述纵向件(21)沿所述承接板(2)的宽度方向对称设置有两组,两组所述纵向件(21)与对称设置在所述机壳(1)内的导向结构配合,能够驱使所述升降环(22)相对所述承接板(2)进行升降;所述升降环(22)的另一侧固定设置有升降块(20),所述升降块(20)沿所述升降环(22)的圆周方向等距设置有至少三组,三组所述升降块(20)能够对放置到所述加热盘本体(5)上的物料进行定位。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人爱利彼半导体设备(上海)有限公司,其通讯地址为:200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区两港大道6288号1幢1层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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