恭喜芯年科技(苏州)有限公司杨永超获国家专利权
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龙图腾网恭喜芯年科技(苏州)有限公司申请的专利一种用于芯片样品调水平的扫描电镜安置平台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119170470B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411571826.3,技术领域涉及:H01J37/20;该发明授权一种用于芯片样品调水平的扫描电镜安置平台是由杨永超;邹伟;李启龙设计研发完成,并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于芯片样品调水平的扫描电镜安置平台在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于芯片样品调水平的扫描电镜安置平台,包括工作台,所述工作台的上端放置有壳体,所述壳体的下部一侧滑动连接有抽拉盒,所述抽拉盒的内腔底部固定连接有底板,所述底板的上端中部设置有用于放置芯片样品的安置平台,所述底板的上端对称设置有用于调节芯片样品位置的定位机构,所述底板的上端中部设置有驱动定位机构移动的驱动机构,当驱动机构的上端转动时,带动定位机构靠近安置平台的一端相对安置平台移动。本发明通过转动板带动对称的驱动杆同步靠近安置平台,通过驱动杆带动硅胶板移动杆同步靠近安置平台,从而使硅胶板对芯片样品进行居中定位,通过从动杆、移动板和驱动槽的配合,从而得到立体的芯片样品影像。
本发明授权一种用于芯片样品调水平的扫描电镜安置平台在权利要求书中公布了:1.一种用于芯片样品调水平的扫描电镜安置平台,包括工作台,其特征在于,所述工作台的上端放置有壳体,所述壳体的下部一侧滑动连接有抽拉盒,所述抽拉盒的内腔底部固定连接有底板,所述底板的上端中部设置有用于放置芯片样品的安置平台,所述底板的上端对称设置有用于调节芯片样品位置的定位机构,所述底板的上端中部设置有驱动定位机构移动的驱动机构,当驱动机构的上端转动时,带动定位机构靠近安置平台的一端相对安置平台移动,所述底板的上端中部固定连接有固定台,所述驱动机构包括伺服电机,所述伺服电机固定连接于固定台的内腔上部,所述伺服电机的输出端固定连接有齿轮,所述底板的上端贴合设置有转动板,所述转动板上端中部开设有通孔,所述通孔的直径大于固定台的直径,所述通孔内腔下部固定连接有升降环,所述升降环远离转动板的一侧与固定台的外壁转动连接,所述通孔的内腔上部固定连接有齿环,所述齿环和齿轮互相啮合,所述转动板的上端开设有第一环槽和第二环槽,所述第二环槽的直径大于第一环槽的直径,所述第二环槽和第一环槽之间开设有关于固定台圆心位置呈中心对称的导向槽,所述第一环槽的内腔固定连接有中心对称的第一弧形块,所述第二环槽的内腔固定连接有中心对称的第二弧形块,所述第一弧形块和第二弧形块下端均与转动板固定连接,所述第一弧形块靠近导向槽和第一环槽的连接处,所述第二弧形块靠近导向槽和第二环槽的连接处,所述第一弧形块上端开设有第一斜面,所述第一斜面靠近导向槽的一端高于远离导向槽的一端,所述第二弧形块的上端开设有第二斜面,所述第二斜面靠近导向槽的一端高于远离导向槽的一端,所述定位机构包括支架,所述支架的下端与底板固定连接,所述支架的上端中部固定连接有固定杆,所述固定杆的下端滑动连接有驱动杆,所述驱动杆的下端中部垂直滑动连接有适配杆,所述驱动杆靠近支架的一端中部固定连接有凸起,所述固定杆的内腔下部水平滑动连接有移动杆,所述移动杆靠近支架的一端中部垂直滑动连接有卡块,所述移动杆的内腔顶部均匀的开设有若干配合卡块使用的卡槽。
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