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龙图腾网恭喜江苏集萃催化材料有限公司申请的专利化学机械抛光液获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118813141B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411314487.0，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权化学机械抛光液是由赵铁均;张延风;杜新蕊设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学机械抛光液在说明书摘要公布了：本发明公开了一种化学机械抛光液。该化学机械抛光液包括以下组分：花状δ‑MnO2纳米颗粒1.0%~10.0wt%，磨粒1.0%~10.0wt%，氧化剂0.1~20.0%，以及使该化学机械抛光液的pH值达到1.0~14.0的量的pH调节剂；所述花状δ‑MnO2纳米颗粒通过以下方法制备得到：S1、以有机化合物作为还原剂，溶于去离子水中得到溶液A；S2、将高锰酸盐溶于去离子水中得到溶液B；S3、将溶液A与溶液B混合，反应，得到花状δ‑MnO2纳米颗粒；步骤S3中，反应时间为0.02~48h，反应温度为20℃~100℃，反应pH值为1.0~14.0。相对于传统抛光液，花状δ‑MnO2纳米颗粒作为化学机械抛光催化助剂能够显著提高碳化硅的抛光速率，同时抛光后的晶圆平整度高、无划痕。

本发明授权化学机械抛光液在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光液，其特征在于，包括以下组分：花状δ-MnO2纳米颗粒1.5wt%，α-氧化铝磨粒2.0wt%，高锰酸钾氧化剂2.0wt%，以及使该化学机械抛光液的pH值达到8.5的量的pH调节剂；所述花状δ-MnO2纳米颗粒通过以下方法制备得到：S1、以有机化合物作为还原剂，溶于去离子水中得到溶液A；S2、将高锰酸盐溶于去离子水中得到溶液B；S3、将溶液A与溶液B混合，反应，得到花状δ-MnO2纳米颗粒；步骤S3中，反应时间为0.02~48h，反应温度为20℃~100℃，反应pH值为1.0~14.0；所述有机化合物为乙醇，所述高锰酸盐选自高锰酸钾；溶液A中有机化合物的摩尔浓度为0.01~18.0molL，溶液B中高锰酸盐的摩尔浓度为0.01~2.0molL；步骤S3中，按照有机化合物：高锰酸盐的摩尔比为0.2~5.0:1的比例添加溶液A和溶液B。

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