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龙图腾网恭喜湘南学院申请的专利含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119252762B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411292489.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法是由廖芳芳;彭乘风;李翔;廖勇;林安平;郑昌隆;刘涛;龙灵飞设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法在说明书摘要公布了：含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法，包括如下步骤：S1.构建了以最大完工时间、车间总能耗和晶圆废品率最小为优化目标的数学模型；S2.首先初始化晶圆加工的参数；S3.待加工晶圆到达出入口，执行晶圆搬运区调度算法和冷却暂存区调度算法；S4.已完工晶圆，执行工艺加工区调度算法；S5.执行晶圆搬运去调度算法和冷却暂存区调度算法，将晶圆放入冷却暂存区进行冷却，冷却完成后为已冷却晶圆，执行晶圆搬运区调度算法，由大气机械手将已将已冷却晶圆搬运至出入口。该方案对最大完工时间、车间总能耗、废品率以及机械手的控制策略同时进行优化。

本发明授权含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法在权利要求书中公布了：1.含多智能体的多加工模块晶圆制造调度控制方法，其特征在于，包括如下步骤：S1.针对多加工模块晶圆制造调度问题生产场景、生产过程及问题特征，构建了以最大完工时间、车间总能耗和晶圆废品率最小为优化目标的数学模型；车间实体模块从左到右依次是暂存冷却区、晶圆搬运区和工艺加工区，暂存冷却区的作用是暂存待加工晶圆和冷却已完工晶圆，可同时容纳7个晶圆；晶圆搬运区是由1个大气机械手和2个真空机械手组成，负责搬运晶圆；工艺加工区则是由6个加工站组成，用于加工晶圆；S2.首先初始化晶圆加工的参数，然后输入包含晶圆加工排序与加工站排产序列的生产加工方案；分别对车间的晶圆搬运区的机械手、工艺加工区的机械手和冷却暂存区的的机械手三个区域分别提出相对应的算法进行解决；S3.待加工晶圆到达出入口，执行晶圆搬运区调度算法和冷却暂存区调度算法，确定存在处于空闲状态的加工站和与其对应交互的真空机械手，并通过预测该晶圆的加工功率满足最大瞬时功率约束后，按照加工站排产序列将晶圆搬运至相应加工站上进行加工；S4.已完工晶圆，执行工艺加工区调度算法，对工艺加工区已完工晶圆进行排序，确定大气机械手处于空闲状态且冷却区的容量大于1，由大气机械手搬运至冷却区进行冷却；S5.执行晶圆搬运去调度算法和冷却暂存区调度算法，将晶圆放入冷却暂存区进行冷却，冷却完成后为已冷却晶圆，执行晶圆搬运区调度算法，由大气机械手将已将已冷却晶圆搬运至出入口。

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