江西杰创半导体有限公司游伟康获国家专利权
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龙图腾网获悉江西杰创半导体有限公司申请的专利一种角度高度可调的等离子去胶机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222705466U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421445677.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种角度高度可调的等离子去胶机是由游伟康;祝烽智;敖学文;祝进田设计研发完成,并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种角度高度可调的等离子去胶机在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种角度高度可调的等离子去胶机,包括机箱,所述机箱内从下到上依次设置有放置组件、电离组件和供气组件,所述放置组件包括安装筒,所述安装筒内设置有平行的底板和隔板,所述底板上设置有驱动机构,所述驱动机构的输出端上设置有放置转盘,所述放置转盘同心设置在所述隔板的上方,所述驱动机构用于驱动放置转盘旋转和升降,所述放置转盘上设置有若干个调节组件,所述调节组件的输出端上设置有用于固定硅片的固定机构。本实用新型可以根据需要调整硅片的位置和高度,可以使得去胶过程更加均匀,减少残胶现象,均匀去胶可以减少后续的调整或重复处理步骤,从而提高去胶的效率和质量。
本实用新型一种角度高度可调的等离子去胶机在权利要求书中公布了:1.一种角度高度可调的等离子去胶机,包括机箱(1),其特征在于:所述机箱(1)内从下到上依次设置有放置组件(2)、电离组件(3)和供气组件(4),所述放置组件(2)包括安装筒(5),所述安装筒(5)内设置有平行的底板(51)和隔板(52),所述底板(51)上设置有驱动机构(8),所述驱动机构(8)的输出端上设置有放置转盘(6),所述放置转盘(6)同心设置在所述隔板(52)的上方,所述驱动机构(8)用于驱动放置转盘(6)旋转和升降,所述放置转盘(6)上设置有若干个调节组件(7),所述调节组件(7)的输出端上设置有用于固定硅片的固定机构(9),所述调节组件(7)用于调节固定机构(9)的位置。
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