芯恩(青岛)集成电路有限公司李苗苗获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利半导体设备的机械臂及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222705483U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421452461.8，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型半导体设备的机械臂及半导体设备是由李苗苗设计研发完成，并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体设备的机械臂及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种半导体设备的机械臂及半导体设备，包括：机械臂本体，具有相对设置的安装端和自由端，安装端通过驱动机构可转动地设于半导体设备内，自由端可位置移动以用于运输晶圆；晶圆拿取手，通过翻转机构设于自由端上，翻转机构用于驱动晶圆拿取手旋转以实现对晶圆的翻面；至少一个吸附机构，通过可伸缩调节的升降机构设于晶圆拿取手上，吸附机构用于吸附晶圆，通过升降机构的伸缩调节以带动吸附机构向靠近晶圆拿取手或远离晶圆拿取手的方向移动。本实用新型中晶圆拿取手通过吸附机构吸附晶圆背面，以实现对晶圆的固定。通过翻转机构驱动晶圆拿取手旋转以实现对晶圆的翻面。通过升降机构的伸缩调节，以配合晶圆的拿取。
本实用新型半导体设备的机械臂及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的机械臂，其特征在于，包括：机械臂本体，具有相对设置的安装端和自由端，所述安装端通过驱动机构可转动地设于半导体设备内，所述自由端可位置移动以用于运输晶圆；晶圆拿取手，通过翻转机构设于所述自由端上，所述翻转机构用于驱动所述晶圆拿取手旋转以实现对所述晶圆的翻面；至少一个吸附机构，通过可伸缩调节的升降机构设于所述晶圆拿取手上，所述吸附机构用于吸附所述晶圆，通过所述升降机构的伸缩调节以带动所述吸附机构向靠近所述晶圆拿取手或远离所述晶圆拿取手的方向移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号