上海鲲游科技有限公司王龙获国家专利权
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龙图腾网获悉上海鲲游科技有限公司申请的专利一种晶圆匀胶装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222695204U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421033072.1，技术领域涉及：B05C11/08；该实用新型一种晶圆匀胶装置是由王龙;颜廷壮;周仁;郭庆孟设计研发完成，并于2024-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆匀胶装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆匀胶装置，能够提高晶圆匀胶均匀性，包括基底、晶圆，还包括盖板，所述晶圆通过真空吸附作用吸附于所述基底的一侧，所述盖板同轴设置于远离所述基底且朝向所述晶圆的一侧，所述盖板的直径大于所述晶圆的直径；控制所述盖板的旋转速度使得所述盖板的旋转速度小于或等于所述基底的旋转速度，且所述盖板和所述基底的旋转方向相同；在装置运行的过程中，能够控制旋涂过程中晶圆上表面的气流，以改变该气流对旋涂过程的影响，通过控制其转速使盖板的旋转速度始终小于或等于基底可以有效解决“波浪”形纹路，从而能显著减小匀胶后薄膜厚度，实现低于50nm的压印胶薄膜旋涂，且具有较好的旋涂效果。
本实用新型一种晶圆匀胶装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆匀胶装置，能够提高晶圆匀胶均匀性，包括基底、晶圆，其特征在于，还包括盖板，所述晶圆通过真空吸附作用吸附于所述基底的一侧，所述盖板同轴设置于远离所述基底且朝向所述晶圆的一侧，所述盖板的直径大于所述晶圆的直径；控制所述盖板和所述基底的旋转方向，使所述盖板和所述基底的旋转方向保持相同。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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