长沙元戎科技有限责任公司齐卫冲获国家专利权
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龙图腾网获悉长沙元戎科技有限责任公司申请的专利磁控溅射用靶材中心防污染阳极获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222700397U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420871040.2，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控溅射用靶材中心防污染阳极是由齐卫冲设计研发完成，并于2024-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射用靶材中心防污染阳极在说明书摘要公布了：本实用新型涉及磁控溅射技术领域，具体为磁控溅射用靶材中心防污染阳极，包括阳极本体,所述阳极本体内设置有靶材，所述靶材的上侧设置有刻蚀区，所述阳极本体上设置有中心阳极，所述中心阳极的两端固定连接有连接管，所述连接管的一端设置在阳极本体上；安装机构，所述安装机构设置在连接管上，所述安装机构将中心阳极固定安装在阳极本体上；支撑机构，所述支撑机构设置在连接管上，所述支撑机构用于增加了连接管的刚性。本实用新型通过增加的中心阳极，靶表面的阳极面积增加，这样可以更容易让靶产生辉光放电，通过配合靶中心非溅射区的直径，靶中心阳极部分可以完全覆盖靶中心非溅射区域，从而将靶整体保护起来。
本实用新型磁控溅射用靶材中心防污染阳极在权利要求书中公布了：1.磁控溅射用靶材中心防污染阳极，包括阳极本体1,所述阳极本体1内设置有靶材2，其特征在于：所述靶材2的上侧设置有刻蚀区3，所述阳极本体1上设置有中心阳极4，所述中心阳极4的两端固定连接有连接管5，所述连接管5的一端设置在阳极本体1上；安装机构，所述安装机构设置在连接管5上，所述安装机构将中心阳极4固定安装在阳极本体1上；支撑机构，所述支撑机构设置在连接管5上，所述支撑机构用于增加了连接管5的刚性。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人长沙元戎科技有限责任公司，其通讯地址为：410000 湖南省长沙市浏阳经济技术开发区湘台路18号长沙E中心一期B2栋1层103号房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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