苏州普斯恩精密机械有限公司唐亚松获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州普斯恩精密机械有限公司申请的专利一种便于组接的晶圆研磨盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222696904U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420798076.2,技术领域涉及:B24D13/14;该实用新型一种便于组接的晶圆研磨盘是由唐亚松;叶沐勇;叶小东设计研发完成,并于2024-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于组接的晶圆研磨盘在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域,且公开了一种便于组接的晶圆研磨盘,包括研磨盘安装壳体,研磨盘安装壳体的上侧面固定连接有研磨面,研磨盘安装壳体内腔中空且底侧内壁固定有盛放凹盘,盛放凹盘中活动卡接有转动块,研磨盘安装壳体的顶侧内壁固定连接有连接件,研磨盘安装壳体的侧面开设有转动槽,还包括,锁紧装置,其设置在研磨盘安装壳体的内腔中对应转动块的上方,固定装置,其设置在研磨盘安装壳体的侧面,本装置通过创新的锁紧与固定装置设计,有效提高了研磨过程的稳定性和效率,同时简化了安装与拆卸步骤,提升了工作效率。
本实用新型一种便于组接的晶圆研磨盘在权利要求书中公布了:1.一种便于组接的晶圆研磨盘,包括研磨盘安装壳体(1),其特征在于:所述研磨盘安装壳体(1)的上侧面固定连接有研磨面(2),所述研磨盘安装壳体(1)内腔中空且底侧内壁固定有盛放凹盘(3),所述盛放凹盘(3)中活动卡接有转动块(4),所述研磨盘安装壳体(1)的顶侧内壁固定连接有连接件(6),所述研磨盘安装壳体(1)的侧面开设有转动槽(7),还包括:锁紧装置(17),其设置在研磨盘安装壳体(1)的内腔中对应转动块(4)的上方,用于连接本装置在研磨机上;固定装置(18),其设置在研磨盘安装壳体(1)的侧面,用于固定锁紧装置(17)。
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