恭喜麦斯克电子材料股份有限公司范吉祥获国家专利权
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龙图腾网恭喜麦斯克电子材料股份有限公司申请的专利一种提高晶棒纵向氧含量均匀性的单晶炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222700463U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420707825.6,技术领域涉及:C30B15/00;该实用新型一种提高晶棒纵向氧含量均匀性的单晶炉是由范吉祥;马武祥;马三宝;张奇;令狐铁兵设计研发完成,并于2024-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高晶棒纵向氧含量均匀性的单晶炉在说明书摘要公布了:一种提高晶棒纵向氧含量均匀性的单晶炉,包括炉体和设置在炉体内的坩埚,坩埚外侧壁套设有加热器,炉体内设置有用于承托坩埚的支撑轴,所述支撑轴上设置有位于坩埚下方且用于将热量反射至坩埚底部的反射装置,反射装置包括沿支撑轴高度方向分布且与支撑轴同轴设置的反射盘和安装板,反射盘和安装板之间填充有保温毡,本实用新型,提高晶棒纵向氧含量的均匀性。
本实用新型一种提高晶棒纵向氧含量均匀性的单晶炉在权利要求书中公布了:1.一种提高晶棒纵向氧含量均匀性的单晶炉,包括炉体1和设置在炉体1内的坩埚3,坩埚3外侧壁套设有加热器2,炉体1内设置有用于承托坩埚3的支撑轴4,其特征在于:所述支撑轴4上设置有位于坩埚3下方且用于将热量反射至坩埚3底部的反射装置,反射装置包括沿支撑轴4高度方向分布且与支撑轴4同轴设置的反射盘5和安装板7,反射盘5和安装板7之间填充有保温毡6。
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