恭喜湖南红太阳光电科技有限公司彭宜昌获国家专利权
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龙图腾网恭喜湖南红太阳光电科技有限公司申请的专利一种叠层石墨舟干法清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222695553U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420657474.2，技术领域涉及：B08B9/093；该实用新型一种叠层石墨舟干法清洗设备是由彭宜昌;陈臻阳;李斯;许烁烁设计研发完成，并于2024-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种叠层石墨舟干法清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种叠层石墨舟干法清洗设备，包括：清洗腔、推舟机构、叠层石墨舟组和抽真空组件，推舟机构用于带动叠层石墨舟组传入或传出清洗腔；清洗腔包括：腔体、放电模块、支撑模块和进气模块，所述进气模块设置在腔体的前端，以实现工艺气体输入腔体内，腔体的尾端与抽真空组件，以实现腔体内抽真空；放电模块设置在腔体顶部，放电模块外接射频电源，用于激发腔体内的工艺气体电离形成等离子体以清洗叠层石墨舟组；支撑模块设置在腔体底部，用于实现叠层石墨舟组固定放置在腔体内。本实用新型具有结构紧凑、便于维护、清洗效率高等优点，有利于提高设备产能。
本实用新型一种叠层石墨舟干法清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种叠层石墨舟干法清洗设备，其特征在于，包括：清洗腔2、推舟机构3、叠层石墨舟组4和抽真空组件，所述推舟机构3用于带动叠层石墨舟组4传入或传出清洗腔2；所述清洗腔2包括：腔体21、放电模块22、支撑模块23和进气模块24，所述进气模块24设置在腔体21的前端，以实现工艺气体输入腔体21内，腔体21的尾端与抽真空组件，以实现腔体21内抽真空；所述放电模块22设置在腔体21顶部，放电模块22外接射频电源，用于激发腔体21内的工艺气体电离形成等离子体以清洗叠层石墨舟组4；所述支撑模块23设置在腔体21底部，用于实现叠层石墨舟组4固定放置在腔体21内。
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