恭喜幂帆科技(上海)股份有限公司徐宝贵获国家专利权
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龙图腾网恭喜幂帆科技(上海)股份有限公司申请的专利一种晶圆全自动压力烘箱获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222703668U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420660648.0，技术领域涉及：F26B5/04；该实用新型一种晶圆全自动压力烘箱是由徐宝贵设计研发完成，并于2024-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆全自动压力烘箱在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工技术领域，是关于一种晶圆全自动压力烘箱，其包括：移载单元，对晶圆进行拾取；烘烤单元，所述移载单元将拾取的晶圆放置烧烤单元内，烘烤单元对晶圆进行烘烤；所述烘烤单元包括烘烤支撑部和仓体，所述仓体连接于烘烤支撑部上；所述仓体内设有用于放置晶圆的晶圆层架，所述仓体内设有加热单元和降温单元；所述烘烤支撑部上设有增压装置；增压装置的气流输出端与仓体的容纳空间相连通；还包括仓门，活动连接于烘烤支撑部上，所述仓门与仓体的开口端相配合。采用上述结构后，其有益效果是：运用晶圆机器人移载和加热的操作方式，通过精确的温度控制，来进行加压烘烤作业，以此使晶圆得以增强固化。
本实用新型一种晶圆全自动压力烘箱在权利要求书中公布了：1.一种晶圆全自动压力烘箱，其特征在于，其包括：移载单元，对晶圆进行拾取；烘烤单元，所述移载单元将拾取的晶圆放置烧烤单元内，烘烤单元对晶圆进行烘烤；所述烘烤单元包括烘烤支撑部和仓体，所述仓体连接于烘烤支撑部上；所述仓体的一端为开口端，仓体的另一端为封闭端；所述仓体具有容纳空间，所述容纳空间与开口端相通；所述仓体内设有用于放置晶圆的晶圆层架，所述仓体的容纳空间内设有加热单元；所述仓体的容纳空间内设有降温单元；所述烘烤支撑部上设有增压装置；增压装置的气流输出端与仓体的容纳空间相连通；还包括仓门，活动连接于烘烤支撑部上，所述仓门与仓体的开口端相配合。
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