恭喜隆基绿能科技股份有限公司张凯获国家专利权
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龙图腾网恭喜隆基绿能科技股份有限公司申请的专利管式镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222700406U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420644101.1，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型管式镀膜设备是由张凯;张文帆;陈森;杨龙;周龙伟设计研发完成，并于2024-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本管式镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种管式镀膜设备，包括炉管、进气件和输气组件。进气件设置于炉管中，进气件具有进气侧，进气侧设多个气孔，多个气孔沿炉管的轴向方向和垂直于炉管的轴向方向分布。多个气孔的分布面积大于或等于炉管内的镀膜区域面积。输气组件部分设于炉管内，且连通进气件。进气件上的多个气孔可以在炉管轴向方向上均匀输出工艺气体，实现炉管轴向方向上的气体均匀分布，充分提升基片薄膜厚度的均匀性。
本实用新型管式镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种管式镀膜设备，其特征在于，包括：炉管；进气件，设置于所述炉管中，所述进气件具有进气侧，所述进气侧设多个气孔，多个所述气孔沿所述炉管的轴向方向和垂直于所述炉管的轴向方向分布；多个所述气孔的分布面积大于或等于所述炉管内的镀膜区域面积；输气组件，所述输气组件部分设于所述炉管内，且连通所述进气件。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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