恭喜江苏长电科技股份有限公司仇红杰获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏长电科技股份有限公司申请的专利自动更换吸嘴装置及半导体工艺机台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222705490U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420635864.X,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型自动更换吸嘴装置及半导体工艺机台是由仇红杰;牛博超;林超设计研发完成,并于2024-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本自动更换吸嘴装置及半导体工艺机台在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种自动更换吸嘴装置及半导体工艺机台。所述自动更换吸嘴装置用于更换半导体工艺机台的吸嘴,包括:吸嘴放置盒,包括吸嘴放置区,所述吸嘴放置区具有多个吸嘴放置孔,用于放置所述吸嘴;机械手臂,包括夹爪及电机,所述夹爪用于夹持所述吸嘴,所述电机用于驱动所述夹爪移动;所述机械手臂能够将放置于所述吸嘴放置盒中的所述吸嘴取出并安装;以及将所述吸嘴拆卸并放置于所述吸嘴放置盒的吸嘴放置孔中。上述技术方案,通过设置可拆卸吸嘴的机械手臂以及可放置吸嘴的吸嘴放置盒,实现半导体工艺机台的吸嘴更换自动化,提高机台更换吸嘴的效率,降低操作失误率以及减少机台故障。
本实用新型自动更换吸嘴装置及半导体工艺机台在权利要求书中公布了:1.一种自动更换吸嘴装置,用于更换半导体工艺机台的吸嘴,其特征在于,包括:吸嘴放置盒,包括吸嘴放置区,所述吸嘴放置区具有多个吸嘴放置孔,用于放置所述吸嘴;机械手臂,包括夹爪及电机,所述夹爪用于夹持所述吸嘴,所述电机用于驱动所述夹爪移动;所述机械手臂能够将放置于所述吸嘴放置盒中的所述吸嘴取出并安装;以及将所述吸嘴拆卸并放置于所述吸嘴放置盒的吸嘴放置孔中。
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