恭喜晶芯半导体(黄石)有限公司陈光勇获国家专利权
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龙图腾网恭喜晶芯半导体(黄石)有限公司申请的专利氮封水箱、纯水设备和半导体加工系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222699119U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420586856.0,技术领域涉及:B65D81/20;该实用新型氮封水箱、纯水设备和半导体加工系统是由陈光勇;周盟恭设计研发完成,并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本氮封水箱、纯水设备和半导体加工系统在说明书摘要公布了:本申请涉及一种氮封水箱、纯水设备和半导体加工系统,氮封水箱包括:水箱本体,内部形成有用于储存纯水的储水空间;氮气管,与储水空间连通,并用于输入氮气;排气管,包括沿自身纵长方向相对的第一端和第二端,第一端与储水空间连通,第二端位于水箱本体外部,氮封水箱在工作时,在重力方向上,第二端的高度高于第一端,如此,排气管内的氮气在从第一端运动至第二端的过程中,需要克服重力的运动,而氮气中携带的水分由于自身重量大于氮气的重量,因此水分相较于氮气的运动距离较短,导致大部分水分无法运动至第二端,最后在重力的作用下流回储水空间内,避免纯水随氮气离开储空间,减少了纯水的浪费。
本实用新型氮封水箱、纯水设备和半导体加工系统在权利要求书中公布了:1.一种氮封水箱,其特征在于,所述氮封水箱包括:水箱本体10,内部形成有用于储存纯水的储水空间;氮气管20,与所述储水空间连通,并用于输入氮气;所述氮封水箱工作时,所述氮气管20的一端伸入进所述储水空间内,且所述氮气管20位于所述储水空间内的一端位于所述纯水的水位线Z以下;排气管30,包括沿自身纵长方向相对的第一端31和第二端32,所述第一端31与所述储水空间连通,所述第二端32位于所述水箱本体10外部,所述氮封水箱在工作时,在重力方向X上,所述第二端32的高度高于所述第一端31。
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