恭喜睿思微系统(烟台)有限公司张标获国家专利权
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龙图腾网恭喜睿思微系统(烟台)有限公司申请的专利一种体声波谐振器阵列及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118100857B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410284021.4,技术领域涉及:H03H9/205;该发明授权一种体声波谐振器阵列及其制备方法是由张标;陈高鹏设计研发完成,并于2024-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种体声波谐振器阵列及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种体声波谐振器阵列及其制备方法,应用于体声波谐振器技术领域,包括多个体声波谐振器;相邻体声波谐振器之间设置有电极连接部,电极连接部连接相邻体声波谐振器中位于压电层同一侧的电极,电极连接部的厚度大于连接电极的厚度。通过增加位于相邻体声波谐振器之间的,用于连接相邻体声波谐振器的电极连接部的厚度,可以使相邻体声波谐振器之间具有较低的欧姆损耗,进而增加谐振器的Q值,提升滤波器的性能。
本发明授权一种体声波谐振器阵列及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种体声波谐振器阵列,其特征在于,包括多个体声波谐振器1;相邻所述体声波谐振器1之间设置有电极连接部6,所述电极连接部6连接相邻所述体声波谐振器1中位于压电层4同一侧的电极,所述电极连接部6的厚度大于连接电极的厚度;单位面积内电极连接部6的电阻低于顶电极5或底电极3的电阻;在形成有多个所述体声波谐振器1的压电层4中,位于相邻所述体声波谐振器1之间的区域,设置有暴露所述压电层4下方底电极3的刻蚀孔;所述刻蚀孔内设置有与暴露的所述底电极3相接触的电极增厚部61,形成所述电极连接部6;所述刻蚀孔设置于压电层4位于相邻所述体声波谐振器1之间的区域,释放孔设置于压电层4预设的释放孔区域,所述刻蚀孔与所述释放孔为同时刻蚀压电层4所形成的孔结构。
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