恭喜深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司伍波获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利一种RPD镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222700405U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420444056.5,技术领域涉及:C23C16/50;该实用新型一种RPD镀膜设备是由伍波;满小花;陈麒麟;舒林;王应斌;袁致斌;苏超颖设计研发完成,并于2024-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种RPD镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种RPD镀膜设备,属于一种光伏镀膜设备领域,包括镀膜室、多个炉膛和多个等离子体发生器,镀膜室内设置有镀膜腔,多个炉膛安装在镀膜室上,多个炉膛的一端伸入镀膜腔内,多个炉膛沿竖直方向间隔排布,炉膛用于加热靶材,多个等离子体发生器安装在镀膜室上,多个等离子体发生器沿竖直方向间隔排布,多个等离子体发生器与多个炉膛一一对应设置,等离子体发生器用于向镀膜腔内发射等离子束。本实用新型的RPD镀膜设备,由卧式自下向上镀膜改为立式镀膜,可以有效减少粉尘堆积情况和延长开腔清洁时间,多个炉膛沿竖直方向间隔设置,多个等离子体发生器沿竖直方向间隔设置,能够增加镀膜幅宽,满足量产化设备的产能和节拍。
本实用新型一种RPD镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种RPD镀膜设备,其特征在于,包括:镀膜室,所述镀膜室内设置有镀膜腔;多个炉膛,安装在所述镀膜室上,多个所述炉膛的一端伸入所述镀膜腔内,多个所述炉膛沿竖直方向间隔排布,所述炉膛用于加热靶材;多个等离子体发生器,安装在所述镀膜室上,多个等离子体发生器沿竖直方向间隔排布,多个所述等离子体发生器与多个所述炉膛一一对应设置,所述等离子体发生器用于向所述镀膜腔内发射等离子束。
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