恭喜广东思沃先进装备有限公司杨善斌获国家专利权
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龙图腾网恭喜广东思沃先进装备有限公司申请的专利辅助贴膜单元获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222705452U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420442073.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型辅助贴膜单元是由杨善斌;范志平;刘攀;卢少君设计研发完成，并于2024-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本辅助贴膜单元在说明书摘要公布了：本申请提供了一种辅助贴膜单元，其包括：架体，其中形成有腔体，在架体的侧部和顶部分别开设有均与腔体相连通的移载口和呈圆形的切割口；滑动设置于腔体内部、具备加热及吸附功能以用于承载晶圆的支撑平台，以及沿竖向设置于架体、以用于驱动支撑平台升降的升降机构，支撑平台的直径小于切割口的直径以能够滑动至部分支撑平台从切割口伸出；具备多级伸缩功能的辅助机构，设置于架体一侧且其作业端能够通过移载口进出腔体以移动至支撑平台上方，作业端设置有与支撑平台相适配的吸附盘及负压清洁组件。本申请提供的辅助贴膜单元，能够避免贴膜过程中出现的气泡问题以及贴膜过程中由于晶圆边缘翘起而导致的不良率问题。
本实用新型辅助贴膜单元在权利要求书中公布了：1.一种辅助贴膜单元，其特征在于，包括：架体，其中形成有腔体，在所述架体的侧部和顶部分别开设有均与腔体相连通的移载口和呈圆形的切割口；滑动设置于所述腔体内部、具备加热及吸附功能以用于承载晶圆的支撑平台，以及沿竖向设置于所述架体、以用于驱动所述支撑平台升降的升降机构，所述支撑平台的直径小于所述切割口的直径以能够滑动至部分所述支撑平台从所述切割口伸出；具备多级伸缩功能的辅助机构，设置于所述架体一侧且其作业端能够通过所述移载口进出所述腔体以移动至所述支撑平台上方，所述作业端设置有与所述支撑平台相适配的吸附盘及负压清洁组件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东思沃先进装备有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市松山湖园区兴业路2号13栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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