恭喜上海昶火微电子科技有限公司殷智俊获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海昶火微电子科技有限公司申请的专利一种无接触硅片传输角度调节轨道获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222699333U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420369722.3,技术领域涉及:B65G35/00;该实用新型一种无接触硅片传输角度调节轨道是由殷智俊;潘吉;谢超伟设计研发完成,并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种无接触硅片传输角度调节轨道在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种无接触硅片传输角度调节轨道,包括硅片主体、硅片导向柱、带凸台同步带、驱动伺服电机、调节机构、轨道主体,所述硅片主体均匀的放置在带凸台同步带上,所述带凸台同步带由驱动伺服电机驱动,所述带凸台同步带设置在轨道主体之间,所述轨道主体上设置有硅片导向柱和调节机构。本实用新型通过无接触轨道与硅片导向设计成一体式安装,安装调试简便,无接触轨道设计成可调左右倾斜角度,配合侧边滚轮导向,更好的矫正硅片位置,规避硅片传输过程中的碎片风险。
本实用新型一种无接触硅片传输角度调节轨道在权利要求书中公布了:1.一种无接触硅片传输角度调节轨道,包括硅片主体1、硅片导向柱2、带凸台同步带3、驱动伺服电机4、调节机构5、轨道主体6,其特征在于:所述硅片主体1均匀的放置在带凸台同步带3上,所述带凸台同步带3由驱动伺服电机4驱动,所述带凸台同步带3设置在轨道主体6之间,所述轨道主体6上设置有硅片导向柱2和调节机构5。
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