恭喜湖南红太阳光电科技有限公司黄嘉斌获国家专利权
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龙图腾网恭喜湖南红太阳光电科技有限公司申请的专利一种石英腔室等离子清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222700402U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420219342.1，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种石英腔室等离子清洗装置是由黄嘉斌;赵增超;邓新新;杨彬;李明;成秋云设计研发完成，并于2024-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石英腔室等离子清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种石英腔室等离子清洗装置，包括：石英腔室、真空泵和集成式ICP发生器，所述真空泵与石英腔室连通，所述石英腔室上设有用于输入工艺气体的进气法兰，所述集成式ICP发生器可拆卸设置在石英腔室内部；当石英腔室进行清洗时，所述集成式ICP发生器的放电端同轴固定在石英腔室内，集成式ICP发生器的电源端设置在石英腔室外部，通过集成式ICP发生器进行辉光放电，以激发工艺气体电离成等离子体，完成石英腔室干法清洗；当石英腔室完成清洗后，将集成式ICP发生器移除。本实用新型具有结构紧凑、便于维护、清洗效率高等优点，清洗时无需将石英腔室从LPCVD设备中拆装，有利于提高设备产能。
本实用新型一种石英腔室等离子清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种石英腔室等离子清洗装置，其特征在于，包括：石英腔室1、真空泵9和集成式ICP发生器，所述真空泵9与石英腔室1连通，所述石英腔室1的炉口端设有用于输入工艺气体的炉口法兰4，所述集成式ICP发生器可拆卸设置在石英腔室1内部；当石英腔室1进行清洗时，所述集成式ICP发生器的放电端同轴固定在石英腔室1内，集成式ICP发生器的电源端设置在石英腔室1外部，通过集成式ICP发生器进行辉光放电，以激发工艺气体电离成等离子体，完成石英腔室干法清洗；当石英腔室1完成清洗后，将集成式ICP发生器移除。
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