恭喜上海昶火微电子科技有限公司谢超伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海昶火微电子科技有限公司申请的专利PECVD自动化搬运系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222705474U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420193433.2，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型PECVD自动化搬运系统是由谢超伟;潘吉;殷智俊设计研发完成，并于2024-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本PECVD自动化搬运系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了PECVD自动化搬运系统，包括托盘搬运单元、龙门布片单元和翻片单元，所述托盘搬运单元由左、中、右三个机构组成，且由中间向着两侧输送托盘，所述龙门布片单元由硅片输送机构组成，且从左向右顺时针输送硅片，所述翻片单元与发片单元均与龙门布片单元衔接，所述发片单元与龙门布片单元的顶升高度相同，所述花篮移载单元和花篮输送单元衔接，所述花篮输送单元输送的花篮被花篮移载单元内输送轨道接住。本实用新型通过设置多个自动化搬运单元，节约人力资源，多个单元之间的自动化是输送，以及与机械臂的智能拿取的高效配合，使得多种状态的载板和托盘能够放在同一货架上，软件能识别状态，智能抓取，大大提高效率。
本实用新型PECVD自动化搬运系统在权利要求书中公布了：1.PECVD自动化搬运系统，包括托盘搬运单元1、龙门布片单元2和翻片单元3，以及花篮移载单元5和花篮输送单元6，其特征在于：所述托盘搬运单元1由左、中、右三个机构组成，且由中间向着两侧输送托盘，所述龙门布片单元2由硅片输送机构组成，且从左向右顺时针输送硅片，所述翻片单元3与发片单元4均与龙门布片单元2衔接，所述发片单元4与龙门布片单元2的顶升高度相同，所述花篮移载单元5和花篮输送单元6衔接，所述花篮输送单元6输送的花篮被花篮移载单元5内输送轨道接住。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海昶火微电子科技有限公司，其通讯地址为：201306 上海市松江区佘山镇环山路2号5栋102室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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