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龙图腾网恭喜浙江大学申请的专利一种浸没单元的污染检测装置及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117805097B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311852023.0，技术领域涉及：G01N21/84；该发明授权一种浸没单元的污染检测装置及检测方法是由阮晓东;罗晋;胡亮;苏芮;付新设计研发完成，并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种浸没单元的污染检测装置及检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种浸没单元的污染检测装置及检测方法。装置包括：浸没单元的下端面固定连接有工装支架组件，浸没单元和工装支架组件之间形成的腔室内装有滑轨，运动电机驱动摄像头在工装支架组件的滑轨上按照指定轨迹运动，摄像头通过连接线缆和控制器连接。方法包括：摄像头对所有的浸液供给开口和浸液回收开口进行多点拍摄得到多张局部图像并传输至控制器，控制器将多张局部图像进行拼接并进行检测判断是否存在污染物堵塞浸液供给开口和浸液回收开口的情况。本发明定期对污染物堵塞情况进行检测并进行清洁，从而保证流场稳定运行，提高光刻机的性能和可靠性，多点拍摄的便捷操作避免了人工对准时的不可靠性，提高了操作便利性。

本发明授权一种浸没单元的污染检测装置及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种浸没单元的污染检测装置，所述污染检测装置和浸没单元（10）的下端面固定连接，浸没单元（10）的上端面之上布置有投影物镜（20），其特征在于：所述污染检测装置包括工装支架组件（30）、摄像头（40）、运动电机（50）和控制器（60）；浸没单元（10）的下端面开设有多个浸液供给开口（12）和多个浸液回收开口（11），浸没单元（10）的下端面固定连接有工装支架组件（30），浸没单元（10）和工装支架组件（30）之间形成密闭的真空腔室，腔室内装有滑轨（33），滑轨（33）内装有运动电机（50），所述运动电机（50）在滑轨（33）内移动并驱动和自身连接的摄像头（40）移动，所述摄像头（40）沿朝向浸液供给开口（12）和浸液回收开口（11）方向布置，所述摄像头（40）通过连接线缆（70）和控制器（60）连接；所述污染检测装置用于光刻机中；所述工装支架组件（30）包括工装支架（31）和连接件（32）；所述工装支架（31）的表面装有多个连接件（32），所述工装支架（31）通过多个连接件（32）和浸没单元（10）表面开设的工装接口对应固定装配；所述滑轨（33）安装在所述多个浸液供给开口（12）和多个浸液回收开口（11）正对的工装支架（31）内壁表面。

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