恭喜海目星激光科技集团股份有限公司涂渭清获国家专利权
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龙图腾网恭喜海目星激光科技集团股份有限公司申请的专利拉膜扩晶设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222705451U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323472161.4,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型拉膜扩晶设备是由涂渭清;黄柏源;王元召;彭信翰;徐念;郭林豪设计研发完成,并于2023-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本拉膜扩晶设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种拉膜扩晶设备,拉膜扩晶设备包括工作台、固定装置、拉膜装置、驱动装置以及视觉检测装置;其中,工作台具有安装面,固定装置、拉膜装置以及驱动装置均安装于安装面上,固定装置用于固定膜材,拉膜装置用于夹持拉伸膜材;视觉检测装置连接于驱动装置,驱动装置用于驱动视觉检测装置在安装面的上方自由移动,视觉检测装置还与拉膜装置电性连接,视觉检测装置用于实时检测膜材上的芯片的间距,并向拉膜装置发送间距信息,拉膜装置根据间距信息控制对拉伸膜材的拉伸力度。通过上述设置,有效地解决在扩晶加工过程中无法实时且精准地检测芯片的间距而导致扩晶加工精度低的问题。
本实用新型拉膜扩晶设备在权利要求书中公布了:1.一种拉膜扩晶设备,其特征在于,所述拉膜扩晶设备包括工作台、固定装置、拉膜装置、驱动装置以及视觉检测装置;其中,所述工作台具有安装面,所述固定装置、所述拉膜装置以及所述驱动装置均安装于所述安装面上,所述固定装置用于固定膜材,所述拉膜装置用于夹持拉伸膜材;所述视觉检测装置连接于所述驱动装置,所述驱动装置用于驱动所述视觉检测装置在所述安装面的上方自由移动,所述视觉检测装置还与所述拉膜装置电性连接,所述视觉检测装置用于实时检测膜材上的芯片的间距,并向所述拉膜装置发送间距信息,所述拉膜装置根据所述间距信息控制对拉伸膜材的拉伸力度。
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