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恭喜江南大学杨国锋获国家专利权

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龙图腾网恭喜江南大学申请的专利一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117673188B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311653005.X,技术领域涉及:H10F30/227;该发明授权一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器是由杨国锋;谷燕;王博翔;陈华志;叶炳杰;谢峰;钱维莹;张向阳;张秀梅;刘玉申;陈国庆设计研发完成,并于2023-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器,属于半导体器件制造技术领域。紫外探测器从下而上依次包括:衬底层、AlN缓冲层、Al0.65Ga0.35N层、Al0.4Ga0.6N有源层、Al0.55Ga0.45N势垒层和金属电极层。本发明通过仅在一侧的电极与Al0.4Ga0.6N有源层之间插入Al0.55Ga0.45N势垒层,构成不对称的MSM结构,利用不同的势垒高度诱导能带弯曲,形成不对称的能带,显著促进光生载流子的分离和输运,从而解决了对称MSM结构探测器高功耗的问题,实现了自驱动特性。形成的不对称的异质结构,增强了Al0.4Ga0.6N层的极化场,进而增加光电流的产生,大幅度提高了0V下的响应度。此外,本发明的制造的外延结构螺位错密度较低,从而器件获得超低的暗电流,提高了器件的灵敏度。

本发明授权一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器在权利要求书中公布了:1.一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器,其特征在于,所述自驱动日盲紫外探测器从下而上依次包括:衬底层、AlN缓冲层、异质结构层和金属电极层;其中,所述异质结构层包括三层高铝组分层:Al0.65Ga0.35N缓冲层、Al0.4Ga0.6N有源层和Al0.55Ga0.45N势垒层;且所述自驱动日盲紫外探测器的一侧电极由三层高铝组分层中的Al0.55Ga0.45N势垒层和金属电极层构成,其金属电极层与三层高铝组分层中的Al0.4Ga0.6N有源层形成肖特基接触,另一侧电极仅由金属电极层构成,且金属电极层与三层高铝组分层中的Al0.55Ga0.45N势垒层形成肖特基接触。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江南大学,其通讯地址为:214122 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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