恭喜株式会社荏原制作所山崎岳获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社荏原制作所申请的专利基板保持器及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118401711B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280046514.3，技术领域涉及：C25D17/06；该发明授权基板保持器及基板处理装置是由山崎岳;尾形奨一郎设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板保持器及基板处理装置在说明书摘要公布了：本公开提供一种构成为用于将第一保持件与第二保持件相互固定的机构能够以不接触的方式操作的基板保持器。本公开所涉及的基板保持器具备：第一保持件；第二保持件，用于与第一保持件一起夹入并保持基板；卡合部件，设置于第一保持件和第二保持件中的一方；以及被卡合部件，固定于第一保持件和第二保持件中的另一方，卡合部件构成为具有磁铁，通过作用于磁铁的磁力而能够在锁定位置与解锁位置之间移动，上述锁定位置是卡合部件与被卡合部件卡合而将第一保持件与第二保持件相互固定的位置，上述解锁位置是卡合部件与被卡合部件的卡合被解除而将第一保持件与第二保持件的固定解除的位置。
本发明授权基板保持器及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板保持器，其特征在于，具备：第一保持件；第二保持件，用于与所述第一保持件一起夹入并保持基板；卡合部件，设置于所述第一保持件和所述第二保持件中的一方；以及被卡合部件，固定于所述第一保持件和所述第二保持件中的另一方，所述卡合部件构成为具有磁铁，通过作用于所述磁铁的磁力而能够在锁定位置与解锁位置之间移动，所述锁定位置是所述卡合部件与所述被卡合部件卡合而将所述第一保持件与所述第二保持件相互固定的位置，所述解锁位置是所述卡合部件与所述被卡合部件的卡合被解除而解除所述第一保持件与所述第二保持件的固定的位置，所述基板保持器还具备密封部件，在第一保持件以及第二保持件保持所述基板时，第一保持件、第二保持件以及密封部件构成为形成密闭空间，所述卡合部件以及所述被卡合部件设置于所述密闭空间的内部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社荏原制作所，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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