恭喜齐鲁中科光物理与工程技术研究院李英获国家专利权
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龙图腾网恭喜齐鲁中科光物理与工程技术研究院申请的专利一种超声清洗氧化铈的方法与装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115625148B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211254054.1,技术领域涉及:B08B3/12;该发明授权一种超声清洗氧化铈的方法与装置是由李英;张佳瑞;曾祥飞;赵梅设计研发完成,并于2022-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超声清洗氧化铈的方法与装置在说明书摘要公布了:本发明涉及超声清洗机技术领域,具体地涉及一种超声清洗氧化铈的方法与装置,采用清洗剂对超光滑表面残留的氧化铈进行清洗,所述清洗剂包括主剂和助剂;所述主剂采用酸性溶剂,酸性溶剂能够与元件表面发生化学反应,溶解掉表面残留的氧化铈;所述助剂采用碱性悬浮剂,碱性悬浮剂能够防止氧化铈再次凝结,防止再生污渍。本发明在整个清洗过程中,能够无损伤去除超光滑表面氧化铈残留,所述超声清洗槽装置,能够使清洗剂的Ph值和温度始终保持在最佳状态,使清洗效果达到最佳,能够提高超光滑表面的质量。
本发明授权一种超声清洗氧化铈的方法与装置在权利要求书中公布了:1.一种超声清洗氧化铈的方法,采用清洗剂对光学元件超光滑表面残留的氧化铈进行清洗,其特征在于:所述清洗剂包括主剂和助剂;所述主剂采用酸性溶剂,酸性溶剂能够与光学元件表面发生化学反应,溶解掉表面残留的氧化铈;所述助剂采用碱性悬浮剂,碱性悬浮剂能够防止氧化铈再次凝结,防止再生污渍;采用清洗剂对超光滑表面残留的氧化铈进行清洗,包括以下步骤:1配置清洗剂:将配比为1%的酸性溶剂和配比为4%的碱性悬浮剂融合得到Ph为7的清洗剂;2将待清洗的光学元件放入清洗剂中,开始清洗,同时探测Ph值和温度;3当Ph值超过设定的最高阈值,即Ph7.2,溶剂存放器开始往清洗槽内加酸性溶剂,当Ph值超过设定的最低阈值,即Ph6.8,溶剂存放器开始往清洗槽内加碱性悬浮剂,直到Ph值恢复至6.8-7.2;当温度超过设定的最高阈值,即T50℃,工作暂停,开始冷却,当温度超过设定的最低阈值,即T40℃,开始加热,直到温度恢复至40℃-50℃。
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