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龙图腾网恭喜上海正帆科技股份有限公司申请的专利电子特气的提纯方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115155244B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210963192.0，技术领域涉及：B01D53/04；该发明授权电子特气的提纯方法是由李东升设计研发完成，并于2022-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本电子特气的提纯方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种电子特气的提纯方法，属于半导体制造气体提纯技术领域。电子特气为烷类气体，提纯方法包括吸附流程：采用碱处理改性和或酸处理改性的多孔碳对电子特气原料气中的电子特气进行吸附，使得电子特气原料气中的电子特气和杂质气体分离。该提纯方法采用吸附提纯处理方式，能避免提纯能耗高、物料损失多的问题；其中使用到的改性多孔碳对电子特气有较好的吸附活性、吸附选择性和吸附容量，能有效地吸附电子特气实现电子特气和杂质气体的分离，从而能有效去除电子特气原料气中的多种杂质气体。

本发明授权电子特气的提纯方法在权利要求书中公布了：1.一种电子特气的提纯方法，其特征在于，所述电子特气为烷类气体，所述提纯方法包括依次进行的如下流程：提供吸附装置流程：提供填充有多孔碳且内部处于负压状态的吸附装置，所述多孔碳采用依次进行碱处理改性和酸处理改性；所述碱处理改性包括：将多孔碳颗粒浸泡于碱液中；过滤出所述多孔碳颗粒，用去离子水冲洗，直到滤出水的pH值接近7；所述酸处理改性包括：将多孔碳颗粒浸泡于酸液中；过滤出所述多孔碳颗粒，用去离子水冲洗，直到滤出水的pH值接近7；降温流程：对所述吸附装置进行制冷；吹扫流程：向所述吸附装置内充入氦气至常压状态或正压状态，平衡第一预设时间，然后抽真空至负压状态；吸附流程：将所述电子特气原料气充入所述吸附装置内，采用所述多孔碳对所述电子特气原料气中的电子特气进行吸附而杂质气体处于游离状态，使得所述电子特气原料气中的所述电子特气和所述杂质气体分离；排气流程：将所述杂质气体排出所述吸附装置；回温流程；对所述吸附装置进行加热，使得所述电子特气从所述多孔碳脱附；产气流程：将脱附的所述电子特气从所述吸附装置输出。

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