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龙图腾网恭喜清华大学申请的专利MEMS谐振器锚点阻尼的数值表征、抑制的结构及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113794459B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111096858.9，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权MEMS谐振器锚点阻尼的数值表征、抑制的结构及方法是由周斌;邢博文;马健钧;魏琦;张嵘设计研发完成，并于2021-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS谐振器锚点阻尼的数值表征、抑制的结构及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种MEMS谐振器锚点阻尼的数值表征、抑制的结构及方法，其包括：抑制区域，位于每个谐振质量块的中心位置处，且多个所述抑制区域呈对称分布；抑制结构，用于改变谐振参数抑制锚点耗散，设置在所述抑制区域内；理论不动点区域，以锚点为中心呈对称分布在连接所述谐振质量块用的支撑架上；检测结构，用于对锚点耗散进行数值表征，实现对非对称振动的检测，设置在所述理论不动点区域内。本发明通过设计不对称振动检测结构和不对称振动抑制结构，实现对于锚点耗散的实时测量表征与闭环抑制。本发明具有易于加工，不增加工艺复杂度，检测精度高，闭环抑制效果好，有效降低锚点阻尼耗散的特点。

本发明授权MEMS谐振器锚点阻尼的数值表征、抑制的结构及方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS谐振器锚点阻尼的数值表征、抑制的结构，其特征在于，包括：抑制区域，位于每个谐振质量块的中心位置处，且多个所述抑制区域呈对称分布；抑制结构，用于改变谐振参数抑制锚点耗散，设置在所述抑制区域内；理论不动点区域，以锚点为中心呈对称分布在连接所述谐振质量块用的支撑架上；检测结构，用于对锚点耗散进行数值表征，实现对非对称振动的检测，设置在所述理论不动点区域内；MEMS谐振器为以单锚定点四质量块MEMS谐振式陀螺仪；每一所述抑制区域中的所述抑制结构，包括：第一抑制梳齿电极和第二抑制梳齿电极；所述第一抑制梳齿电极用于抑制驱动模态的非对称振动，所述第二抑制梳齿电极用于抑制检测模态的非对称振动，所述第一抑制梳齿电极和所述第二抑制梳齿电极的结构形式相同，设置方向为正交；每一所述理论不动点区域中的所述检测结构，包括：第一检测梳齿电容和第二检测梳齿电容；所述第一检测梳齿电容和所述第二检测梳齿电容检测的敏感方向正交；所述第一检测梳齿电容用于检测所在理论不动区域中Y方向的非对称振动；所述第二检测梳齿电容用于检测所在理论不动区域中X方向的非对称振动。

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