恭喜江苏鲁汶仪器股份有限公司叶联获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种用于干法去胶后清除残胶的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115332067B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110505739.8，技术领域涉及：H01L21/311；该发明授权一种用于干法去胶后清除残胶的方法是由叶联;彭泰彦;车东晨;陈兆超;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2021-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于干法去胶后清除残胶的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于干法去胶后清除残胶的方法，采用在晶圆与热台不接触结合接触PinUp结合Pindown模式的方式，优化了工艺过程，开始时向刻蚀腔体内通入水和氧气不加上射频来起到软化胶的作用，之后向刻蚀腔体内通入水同时启动微波源，射频功率会影响胶的软化效果，最后关闭微波源，继续向刻蚀腔体内通入水、氧气和氮气，重复操作，即可完成去胶。本发明能够在大规模集成电路工业制造环境下应用，是通过改变干法去胶过程中晶圆与热台的接触在微波源射频功率作用下去胶，以及晶圆与热台不接触模式无射频功率软化胶，和制造过程中的优化方法。实验结果显示，晶圆表面残胶被完全去除干净，效果相当明显。
本发明授权一种用于干法去胶后清除残胶的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于干法去胶后清除残胶的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1）将晶圆放置于刻蚀腔体内；步骤2）顶针自热台内升出并顶起所述晶圆，以使所述热台和所述晶圆在上下方向上间隔开；步骤3）先后向所述刻蚀腔体内通入氧气和水，以对光刻胶的表层部分进行软化；步骤4）所述顶针自所述晶圆底部下降至所述热台内，以使所述晶圆抵接在所述热台上，向所述刻蚀腔体内通入水并同时启动微波源；所述微波源的射频频率为2.45GHz；步骤5）反应结束后，关闭所述微波源，继续向所述刻蚀腔体内通入水，并同时通入氧气和氮气，进行去胶操作。
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