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龙图腾网恭喜上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种半导体真空输送工艺制程气体管路中制冷专用冷腔体获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113108627B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110478947.3，技术领域涉及：F28D7/06；该发明授权一种半导体真空输送工艺制程气体管路中制冷专用冷腔体是由崔汉博;崔汉宽设计研发完成，并于2021-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体真空输送工艺制程气体管路中制冷专用冷腔体在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体真空输送工艺制程气体管路中制冷专用冷腔体，包括：箱体和盖板，盖板采用螺栓安装在箱体的顶部且连接处做密封处理，箱体的内部安装有缓冲腔、泄压腔、散热片总成和内衬板，箱体的内底部还竖直安装有四个固定柱，内衬板套接在固定柱上，散热片总成安装在内衬板上。本发明通过进气口将需要冷却的空气排入内部并通过过滤筒进行一次过滤，过滤后穿过泄压腔向下流动，在空气与散热片总成接触时，由顶部长横板对其进行阻挡并向四周分流，分流后的空气通过导气孔向下导向至内腔内部，与短横板接触后充分换热，并再次由短横板导向，使空气穿过流通槽，并沿着纵板表面向下流动，提高换热的效果，同时增加降温的均匀度。

本发明授权一种半导体真空输送工艺制程气体管路中制冷专用冷腔体在权利要求书中公布了：1.一种半导体真空输送工艺制程气体管路中制冷专用冷腔体，包括：箱体和盖板，所述盖板采用螺栓安装在箱体的顶部且连接处做密封处理，其特征在于：所述箱体的内部安装有缓冲腔、泄压腔、散热片总成和内衬板，箱体的内底部还竖直安装有四个固定柱，所述内衬板套接在固定柱上，所述散热片总成安装在内衬板上，所述盖板的顶面中部设置有进气口，所述箱体的底面中部设置有与进气口对应的出气口，所述缓冲腔置于进气口的下方，泄压腔置于缓冲腔的下方，且泄压腔与缓冲腔之间安装有过滤筒；所述箱体的侧壁上安装有两个接头，所述接头的内端连接有导管，所述导管呈U形结构且端部贯穿散热片总成，导管的弯曲端贴近箱体内壁远离接头的一侧；所述散热片总成包括若干个横板和纵板，所述横板包括长横板和短横板，所述纵板等距排列且两端处采用长横板连接并形成框架形结构，且相邻纵板之间形成有纵向的内腔，所述短横板水平置于内腔内部且将内腔分隔为若干个冷却腔；所述短横板的一端与内腔一侧的纵板连接、另一端向内腔另一侧的纵板贴近且与纵板之间形成流通槽；所述纵板和长横板的表面还开设有若干个等距分布的导气孔，所述导气孔呈圆形结构，所述导管贯穿导气孔。

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