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龙图腾网恭喜南京高华科技股份有限公司申请的专利一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113023662B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110178432.1，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法是由李维平;兰之康设计研发完成，并于2021-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种MEMS电容式触觉压力传感器，包括：衬底；绝缘层，设置在所述衬底上；电极，设置在所述绝缘层上；电介质层，设置在所述绝缘层上并覆盖所述电极；触觉敏感体，设置在所述电介质层上；其中，所述触觉敏感体构成所述MEMS电容式触觉压力传感器的可动电极。本发明所提出的MEMS电容式触觉压力传感器主要依赖电容电极间的面积变化来响应触觉压力的变化，相比于现有的通过电极间距变化来响应触觉压力变化的MEMS触觉压力传感器，具有高线性度、高灵敏度的优点。且可采用MEMS加工工艺进行高精度、高一致性、低成本、批量化和微型化的制备。

本发明授权一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS电容式触觉压力传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：选择衬底，在所述衬底上形成绝缘层；在所述绝缘层上形成电极；在所述衬底上形成电介质层，所述电介质层覆盖所述电极；在所述电介质层上形成牺牲层，所述牺牲层通过热蒸发铝形成；刻蚀所述牺牲层，形成触觉敏感体的形状，所述触觉敏感体的形状为弧形，所述触觉敏感体的宽度由传感器所需的量程和分辨率确定；在所述牺牲层的上表面形成弹性导电复合材料；去除所述牺牲层，释放所述触觉敏感体；所述触觉敏感体与所述电极正对设置；其中，所述触觉敏感体构成所述MEMS电容式触觉压力传感器的可动电极；在触觉压力作用下，所述触觉敏感体发生形变，导致所述触觉敏感体与所述电介质层的接触面积增大，并造成敏感电容的可动电极与固定电极的有效相对面积增加，引起电容值发生变化。

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