恭喜东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司刘成成获国家专利权
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龙图腾网恭喜东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利缺陷分类方法和装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114723647B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011510556.7,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权缺陷分类方法和装置、设备及存储介质是由刘成成;韩春营;俞宗强;李强;马卫民设计研发完成,并于2020-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本缺陷分类方法和装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请涉及一种缺陷分类方法和装置、设备及存储介质,其中方法包括:读取当前待进行缺陷分类的缺陷图像,参考图像和缺陷位置;根据缺陷图像和参考图像得到差别图像,并由差别图像中提取出特定特征;其中,特定特征对应当前待进行缺陷分类的缺陷类型;将提取出的特定特征输入至已训练好的分类器中,由分类器根据特定特征对缺陷图像进行缺陷分类。其通过在缺陷分类时,由差别图像中提取与缺陷类型相对应的特定特征,并基于所提取出的特定特征进行相应的缺陷分类,实现了缺陷类型的准确区分,从而能够准确地进行缺陷原因分析,进而改善良率,提高生产。
本发明授权缺陷分类方法和装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种缺陷分类方法,其特征在于,包括:读取当前待进行缺陷分类的缺陷图像,参考图像和缺陷位置;根据所述缺陷图像和所述参考图像得到差别图像,并由所述差别图像中提取出特定特征;其中,所述特定特征对应当前待进行缺陷分类的缺陷类型;将提取出的所述特定特征输入至已训练好的分类器中,由所述分类器根据所述特定特征对所述缺陷图像进行缺陷分类;由所述差别图像中提取出特定特征,包括:对所述差别图像进行噪声评估,得到噪声灰度值的范围;基于所述噪声灰度值的范围,统计所述差别图像中缺陷区域的像素信息,并根据统计得到的所述缺陷区域的像素信息,确定相应的特定特征;其中,所述像素信息包括亮像素的像素数量、暗像素的像素数量和所述缺陷区域的总像素数量中的至少一种;所述特定特征包括:所述缺陷区域中所述亮像素所占总像素的比例,所述缺陷区域中所述暗像素所占总像素的比例,以及所述缺陷区域中所述亮像素和所述暗像素之间的比例中的至少一种。
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