恭喜国立研究开发法人产业技术综合研究所安格拉尼·斯里·阿优获国家专利权
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龙图腾网恭喜国立研究开发法人产业技术综合研究所申请的专利氮化物压电体和使用该氮化物压电体的MEMS器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114341053B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080061646.4,技术领域涉及:B81B3/00;该发明授权氮化物压电体和使用该氮化物压电体的MEMS器件是由安格拉尼·斯里·阿优;秋山守人;上原雅人;山田浩志;平田研二设计研发完成,并于2020-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本氮化物压电体和使用该氮化物压电体的MEMS器件在说明书摘要公布了:本发明的课题是提供与未添加任何元素的氮化铝相比具有更高的性能指数d33、g33和K2中的至少任意1个的值的氮化物压电体和使用该氮化物压电体的MEMS器件。本发明的解决方法是一种压电体,其由化学式Al1‑X‑YMgXTaYN表示,其中,X+Y小于1,并且X处于大于0且小于1的范围,Y处于大于0且小于1的范围,Ta包含4价的Ta。
本发明授权氮化物压电体和使用该氮化物压电体的MEMS器件在权利要求书中公布了:1.一种压电体,其特征在于,由化学式Al1-X-YMgXTaYN表示,X+Y小于1,并且X在大于0且小于1的范围内,Y在大于0且小于1的范围内,Ta包含4价的Ta,与4价以外的Ta相比,4价的Ta含有得最多。
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