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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利包括具有经冷却的面板的喷头的衬底处理室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112262464B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980039640.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权包括具有经冷却的面板的喷头的衬底处理室是由达莫达尔·拉贾拉姆·尚巴格;纳格拉杰·尚卡尔设计研发完成，并于2019-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本包括具有经冷却的面板的喷头的衬底处理室在说明书摘要公布了：一种用于衬底处理室的喷头包含：内壁；内充气腔，其位于所述内壁之间；面板，其具有第一表面与第二表面，所述第二表面与所述第一表面相反；穿过所述面板的孔，其从所述第一表面延伸到所述第二表面；第一入口，其与所述内充气腔流体地连接；外壁；第一外充气腔，其位于所述内壁与所述外壁之间；第二外充气腔，其位于所述内壁与所述外壁之间；以及冷却剂通道，其：使所述第一外充气腔与所述第二外充气腔流体地连接；设置在所述面板内且在所述第一与第二表面之间；并且与所述孔流体地隔离。所述喷头还包括：第二入口，其与所述第一外充气腔流体地连接。

本发明授权包括具有经冷却的面板的喷头的衬底处理室在权利要求书中公布了：1.一种用于衬底处理室的喷头，所述喷头包括：杆部分，其包括第一端和第二端，并且包含第一直径；基座部分，其连接到所述杆部分的所述第二端，并且包含大于所述第一直径的第二直径；内壁；在所述内壁之间的内充气腔；所述基座部分包含面板，所述面板具有第一表面与第二表面，所述第二表面与所述第一表面相反；穿过所述面板的孔，其从所述第一表面延伸到所述第二表面；第一入口，其与所述内充气腔流体地连接；外壁；第一外充气腔，其在所述杆部分和所述基座部分中并且由所述内壁与所述外壁限定；第二外充气腔，其在所述杆部分和所述基座部分中并且由所述内壁与所述外壁限定；冷却剂通道，其：使所述第一外充气腔与所述第二外充气腔流体地连接；设置在所述面板内且在所述第一与第二表面之间；并且与所述孔流体地隔离，其中所述冷却剂通道中的每一个包含多个竖直移位的冷却剂通道；以及第二入口，其与所述第一外充气腔流体地连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。