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龙图腾网恭喜吉林大学申请的专利利用飞秒激光原位多次改性制备低损耗急弯波导的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119270429B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411815619.8，技术领域涉及：G02B6/136；该发明授权利用飞秒激光原位多次改性制备低损耗急弯波导的方法是由田振男;肖凯恒;孙洪波;陈岐岱设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本利用飞秒激光原位多次改性制备低损耗急弯波导的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了利用飞秒激光原位多次改性制备低损耗急弯波导的方法，属于激光加工技术领域，该方法采用飞秒激光原位多次改性能精确优化单次直写中90º急弯波导存在弯曲损耗大的问题。其主要原理如下，通过控制高精度三维运动平台使飞秒激光聚焦在材料内部，调节飞秒激光加工能量和激光扫描速度达到单模波导的制备条件；再利用飞秒激光原位多次改性调控波导性能，制备出不同弯曲半径的90º低损耗急弯波导。原位多次改性能使材料中受激光改性的材料结构更加致密，波导的芯层折射率升高，有助于抑制辐射损耗；原位多次改性也可以驱动波导中的杂质离子迁移至波导边界，降低杂质离子对光的散射和吸收，降低波导的吸收和散射损耗。该方法的制备工艺简单，可靠性高，简单易实现。

本发明授权利用飞秒激光原位多次改性制备低损耗急弯波导的方法在权利要求书中公布了：1.利用飞秒激光原位多次改性制备低损耗急弯波导的方法，其特征在于，具体包括如下步骤：步骤一：搭建光路及样品台的调平，具体步骤如下：飞秒激光器出射低单脉冲能量的飞秒激光，调整角度使飞秒激光依次通过二分之一波片HWP和偏振分束器PBS器件的中心，调节第一反射镜M1使光束通过扩束镜f1的中心，利用扩束镜将激光出射的光束扩大；扩束后的光束经过第二反射镜M2后均匀的照射在空间光调制器SLM上，经过空间光调制器反射的光束依次通过第三反射镜M3、第四反射镜M4、第一凸透镜f2及第二凸透镜f3的中心，最后依次经由第六反射镜M6反射和物镜OL聚焦后入射至样品台上的样品表面，通过调整第五反射镜M5使激光光斑成像于CCD中，并将CCD与电脑PC相连，通过电脑PC实时监控样品台的调平过程；步骤二：确定原位多次改性低损耗直波导的加工参数，具体步骤如下：首先，调整激光在样品中的聚焦位置，使光斑聚焦在样品表面内部；然后利用不同的激光单脉冲能量和扫描速度直写制备样品；之后，对得到的样品端面抛光至纳米级的粗糙度，并分别测试不同激光单脉冲能量和扫描速度制备的波导传输损耗，得到上述不同激光单脉冲能量和扫描速度中最低直波导传输损耗的加工参数；然后，利用得到的最低损耗直波导的加工参数分别加工不同改性次数下的直波导样品，之后对得到的样品端面抛光；最后，利用光学显微镜对不同改性次数的波导端面进行表征；分别测试表征不同改性次数的直波导传输损耗和模场尺寸；根据波导端面的光学显微镜照片筛选出具有第二个明亮芯层边界波导端面的改性次数；步骤三：原位多次改性制备低损耗弯曲波导，具体包括如下步骤：首先，采用新样品重复步骤一的调平样品台操作；然后，利用步骤二中得到的低损耗直波导的加工参数，利用电脑控制三维移动平台在X-Y平面上运动，在样品中制备出不同改性次数和弯曲半径的90°弯曲波导；然后将得到的样品端面抛光并测试其弯曲损耗；步骤一中，飞秒激光器的中心波长为1030±10nm，脉冲宽度为290fs-20ps，重复频率为1Hz-1MHz，脉冲能量为0-5μJ，物镜OL数值孔径为0.75，放大倍数为40的空气隙物镜；待加工的样品为25mm×25mm×7mm的硼铝硅酸盐玻璃；步骤二中，所述激光单脉冲能量为210-290nJ，扫描速度为5-50mms；步骤二中，原位改性次数为1-16次，波导传输损耗的测试波长为808±10nm；步骤三中，弯曲波导的原位改性次数为1-9次。

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